[发明专利]具有高频振动处理的微流器件

权利要求书

1.一种具有高频振动处理的微流器件，其特征在于，所述具有高频振动处理的微流器件至少包括：

包含至少3层电极层的微流器件本体，其中，多层电极层处于第一基底，剩余1层电极层处于与所述第一基底相对设置的第二基底，且各电极层基于介电层来隔离；以及

设置在所述微流器件本体相应位置的高频振动单元，其中，所述高频振动单元包括用于产生高频振动信号的信号发生器及将所述信号发生器产生的高频振动信号转换为机械能的换能器。

2.根据权利要求1所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于还包括：连接所述高频振动单元的控制器。

3.根据权利要求1所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于：所述高频振动单元相对于所述微流器件本体中能对液滴进行操作的位置设置。

4.根据权利要求2所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于：能对液滴进行的操作包括：取样、搅拌、混合、电润湿、电泳、介电泳中的一种或多种。

5.根据权利要求1至4所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于：所述高频振动单元直接固定在所述微流器件本体的相应位置或通过耦合单元设置于所述微流器件本体的相应位置。

6.根据权利要求5所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于：所述耦合单元包括非固态耦合材料。

7.根据权利要求1至4所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于：所述高频振动单元与待测样品接触处的材料为非传感性材料。

8.根据权利要求7所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于：所述非传感性材料包括：金属、玻璃或陶瓷。

9.根据权利要求1所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于：所述高频振动信号包括频率范围在500Hz到20MHz之间的信号。

10.根据权利要求9所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于：所述高频振动信号包括频率范围在5kHz到500kHz之间的信号。

11.根据权利要求10所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于：所述高频振动信号包括频率范围在20kHz到300kHz之间的信号。

12.根据权利要求1所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于：所述换能器包括传感器。

13.根据权利要求12所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于：所述传感器包括压电传感器或磁致伸缩传感器。

14.根据权利要求1所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于：在所述第一基底的至少两相邻电极层中，一层中包含的至少部分电极与相邻层包含的至少部分电极在空间上的交叠区域与非交叠区域相间。

15.根据权利要求14所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于：在所述至少两相邻电极层中的每一层中，至少部分电极是延长电极，且延长电极的宽度及各自与各自相邻的电极间距在0.1微米至20毫米之间。

16.根据权利要求15所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于：至少有一组延长电极的宽度及各自和各自相邻电极间距在0.1微米至100微米之间，且在包含延长电极的相邻电极层中，其它电极宽度在100微米至20毫米之间，相邻电极间距在1微米至2毫米之间，相邻电极层包含的其它电极的宽度和相邻电极间距在100微米至20毫米之间。

17.根据权利要求15所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于：在相邻电极层中，一层包含的各电极与相邻层包含的各电极相互垂直。

18.根据权利要求1所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于，所述微流器件本体还包括：电极选择单元，分别与处于所述第一基底及第二基底的各电极层中的可选址电极相连接，用于对所选电极施加电压。

19.根据权利要求1所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于，所述微流器件本体还包括：与容置液体的空间连通的液体入口。

20.根据权利要求1所述的具有高频振动处理的微流器件，其特征在于，所述微流器件本体还包括：与容置液体的空间连通的液体出口。