[发明专利]一种基于压力传感的倾角传感器

权利要求书

1.一种基于压力传感的倾角传感器，其特征在于：包括衬底（1）、两个微压力传感器（2）和盖板（6），所述衬底（1）的中部设置有一对称截面形状的竖向无底深槽，在衬底（1）的底部设置有压力弹性膜（7），所述压力弹性膜（7）密封住深槽的底部，且压力弹性膜（7）相对于深槽的截面对称线对称，所述两个微压力传感器（2）分别设置在压力弹性膜（7）底部、深槽下方位置，且两个微压力传感器（2）相对于深槽的截面对称线对称；所述深槽内、压力弹性膜（7）的上方盛放有液体（5），在压力弹性膜（7）位置水平时，液体（5）的液面与深槽的上沿存在间隙，所述盖板（6）密封在深槽上方；所述压力弹性膜（7）的底部设置有绝缘介质膜（3），所述绝缘介质膜（3）除金属引线连接位置外覆罩住压力弹性膜（7）和两个微压力传感器（2）。

2.根据权利要求1所述的基于压力传感的倾角传感器，其特征在于：所述微压力传感器（2）为一维结构应力检测传感器或二维结构应力检测传感器。

3.根据权利要求1所述的基于压力传感的倾角传感器，其特征在于：所述液体（5）的密度大于等于水的密度。

4.根据权利要求1所述的基于压力传感的倾角传感器，其特征在于：所述衬底（1）为硅衬底。

5.根据权利要求1所述的基于压力传感的倾角传感器，其特征在于：所述盖板（6）通过密封胶或玻璃硅阳极键合或玻璃硅共熔键合方式密封在深槽上方。

6.根据权利要求1所述的基于压力传感的倾角传感器，其特征在于：所述盖板（6）的材质为硅、玻璃、塑料或金属。

7.根据权利要求1所述的基于压力传感的倾角传感器，其特征在于：所述衬底（1）为圆形或方形结构。

8.根据权利要求1所述的基于压力传感的倾角传感器，其特征在于：所述深槽的横截面形状为圆形或正多边形。

9.根据权利要求1所述的基于压力传感的倾角传感器，其特征在于：所述衬底（1）和压力弹性膜（7）为一体结构，在该一体结构上设置一竖向有底凹槽，所述凹槽的竖向侧壁围成的区域作为深槽，所述凹槽底面横截面以上部分作为衬底（1），凹槽底面横截面以下部分作为压力弹性膜（7）。