[发明专利]一种太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：

形成位于衬底上的透明导电膜；

将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃；

在酸液中对调整温度后的透明导电膜进行制绒，形成绒面透明导电膜，制绒时长为30～100秒，其中，所述酸液按重量百分比计，含有0.0365%～0.365%氯化氢，0.04%～0.4%氟化氢，0.1%～0.5%草酸及0.1%～0.5%醋酸；

形成位于所述绒面透明导电膜上的硅基薄膜层以及位于所述硅基薄膜层上的背电极。

2.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述酸液含有0.0365%～0.182%氯化氢，0.04%～0.2%氟化氢，0.1%～0.3%草酸及0.1%～0.3%醋酸。

3.如权利要求2所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述酸液含有0.182%氯化氢，0.08%氟化氢，0.2%草酸及0.1%醋酸；或者，所述酸液含有0.0365%氯化氢，0.04%氟化氢，0.1%草酸及0.1%醋酸；或者，所述酸液含有0.182%氯化氢，0.2%氟化氢，0.3%草酸及0.3%醋酸。

4.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述制绒时长为30秒、50秒、60秒、100秒或120秒。

5.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃具体为：将形成有透明导电膜的衬底浸润在18℃～25℃的去离子水中，使其温度调整至18℃～25℃。

6.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃具体为：将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃、20℃或25℃。

7.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述形成位于所述绒面透明导电膜之上的硅基薄膜层以及位于所述硅基薄膜层之上的背电极具体包括：

采用激光刻划所述绒面透明导电膜；

在刻划后的绒面透明导电膜上形成硅基薄膜层；

采用激光刻划穿硅基薄膜层；

在刻划后的硅基薄膜层上形成背电极层；

采用激光刻划穿背电极层和硅基薄膜层，形成背电极。

8.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述硅基薄膜层的材质为非晶硅或微晶硅。

9.如权利要求1～8任一项所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述透明导电膜的材质为掺铝氧化锌，其中铝的掺杂浓度为1%～1.2%。

10.如权利要求9所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述透明导电膜的厚度为700～1200nm。

11.一种太阳能电池，其特征在于，通过如权利要求1～10任一项所述的太阳能电池的制备方法得到。