[发明专利]智能提片仪

说明书

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，更具体地，本发明涉及一种智能提片仪。 

背景技术

提片仪主要用于溶胶-凝胶法等液相法制备薄膜材料。把洁净干燥的基片浸入溶液中，通过预先设置的提拉速度、提拉高度、镀膜次数等参数，将浸渍后的基片以一定速度慢慢提拉起来，在基片的表面形成一层纳米级的薄膜。系统装置运行稳定、工作时液面无振动，极大地提高实验精度与实验效率。适用于硅片、晶片、玻璃、陶瓷、金属等所有固体材料表面涂覆工艺。应用于科学研究、产品生产。目前市场上现有的提片仪，功能简单，存在不少缺陷：1、提拉精度不高，最小分辨率只能达到1um/min；2、不能实现对提膜液体进行恒温回流控制；3、不能实现对提膜过程进行暗室保护；4、一次只能提取一个膜，效率低；5、功能单一，价格昂贵。 

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一或至少提供一种有用的商业选择。 

为此，本发明的一个目的在于提出一种结构简单、控制方便且提膜效率高的智能提片仪。 

根据本发明实施例的智能提片仪，包括：壳体，所述壳体设有操作通道；溶液器，所述溶液器设在所述壳体下部，用于盛放基片提膜用的溶液；支架，所述支架包括基片安装部和第一传动部，所述基片安装部安装多个基片，所述第一传动部使所述支架可上下移动以将所述基片插入所述溶液器或从所述溶液器中提出；传动轴，所述传动轴设在所述壳体内，所述传动轴上设有与所述第一传动部相适配的第二传动部，所述支架通过所述第一传动部和所述第二传动部的配合沿所述传动轴上下移动；和控制器，所述控制器设在所述壳体上，所述控制器控制所述智能提片仪提片。 

根据本发明实施例的智能提片仪，具有特制的溶液器，可以避免外界环境对溶液器内溶液的干扰，传动装置配合精密，提膜精度高，支架可同时安装多个基片，而且采用控制器自动控制提片过程，提高了提膜效率，节约了成本。 

另外，根据本发明上述实施例的智能提片仪，还可以具有如下附加的技术特征： 

根据本发明的一个实施例，所述第一传动部包括驱动电机和竖直布置的转轴，所述驱动电机由所述控制器驱动并带动所述转轴转动，所述转轴上设有螺纹；所述第二传动部包括齿轮，所述齿轮通过连接轴竖直安装在所述传动轴上，所述齿轮与所述螺纹啮合。 

根据本发明的一个实施例，所述螺纹与所述齿轮的减速比为1：10000。 

根据本发明的一个实施例，所述智能提片仪包括多个调平螺母，多个所述调平螺母安装在所述智能提片仪底部以调节所述智能提片仪中溶液器内溶液水平。 

根据本发明的一个实施例，所述智能提片仪内设有提膜距离设置装置以设定所述支架移动距离。 

根据本发明的一个实施例，所述提膜距离设置装置包括调节柱，所述调节柱上设有滑杆，所述滑杆上方设有第一光电门和第一接触式测距仪且所述第一接触式测距仪带动所述第一光电门上下运动，所述滑杆下方设有第二光电门和第二接触式测距仪且所述第二接触式测距仪带动所述第二光电门上下运动。 

根据本发明的一个实施例，所述基片安装部设有光电检测板，所述光电检测板检测所述第一光电门和第二光电门发出的光以确定所述支架移动的距离。 

根据本发明的一个实施例，所述提膜距离设置装置还包括显示器以显示所述支架移动的距离。 

根据本发明的一个实施例，所述溶液器内设有恒温控制器。 

根据本发明的一个实施例，所述控制器为单片机。 

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。 

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中： 

图1是根据本发明实施例的智能提片仪的结构示意图； 

图2是根据本发明实施例的智能提片仪的支架与传动轴的结构示意图； 

图3是根据本发明实施例的智能提片仪的调平螺母的结构示意图； 

图4是根据本发明实施例的智能提片仪的提膜距离设置装置结构示意图； 

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。