[发明专利]一种单组份动态配气装置

权利要求书

1.一种单组份动态配气装置，包括原料气质量流量控制器（1）、稀释气质量流量控制器（5）、混合器（6），所述稀释气质量流量控制器（5）出口与混合器（6）的入口相连，其特征在于，还包括原料气接入球阀（4）和原料气输出球阀（14），该原料气接入球阀（4）和原料气输出球阀（14）均为多通球阀；所述原料气质量流量控制器（1）的数量至少为2个，且量程等比增长，等比增长的公比不小于5；所述原料气质量流量控制器（1）通过原料气接入球阀（4）接入原料气，并通过原料气输出球阀（14）与混合器（6）的入口相连。

2.根据权利要求1所述的一种单组份动态配气装置，其特征在于，所述原料气接入球阀（4）包括1个接入原料气的入口和数量不少于原料气质量流量控制器（1）个数的出口；所述原料气输出球阀（14）包括一个出口和数量不少于原料气质量流量控制器（1）个数的入口，其出口与混合器（6）的入口相连；原料气质量流量控制器（1）的入口与原料气接入球阀（4）的出口相连，出口与原料气输出球阀（14）的入口相连。

3.根据权利要求2所述的一种单组份动态配气装置，其特征在于，还包括稀释气接入球阀（3），其入口接入稀释气，出口与稀释气质量流量控制器（5）的入口相连。

4.根据权利要求2所述的一种单组份动态配气装置，其特征在于，所述混合器（6）为T型三通球阀。

5.根据权利要求3所述的一种单组份动态配气装置，其特征在于，所述原料气接入球阀（4）的出口的数量大于原料气质量流量控制器（1）个数；所述稀释气接入球阀（3）为L型三通球阀，包括两个入口和一个出口，其一个入口接入稀释气，另一个入口与原料气接入球阀（4）的一个出口相连。

6.根据权利要求5所述的一种单组份动态配气装置，其特征在于，所述原料气质量流量控制器（1）的数量为3个；所述原料气接入球阀（4）为五通球阀，其一个出口与稀释气接入球阀（3）的入口相连，其余三个出口各连接1个原料气质量流量控制器（1）；所述原料气输出球阀（14）为四通球阀，其3个入口各连接一个原料气质量流量控制器（1）。

7.根据权利要求6所述的一种单组份动态配气装置，其特征在于， 3个原料气质量流量控制器（1）的量程等比增长的公比为10。

8.根据权利要求1至7任一所述的一种单组份动态配气装置，其特征在于，还包括原料气选择球阀（2），所述原料气选择球阀（2）为二通球阀或多通球阀，包括一个出口和至少一个入口，其每个入口接入一种原料气，其出口与原料气接入球阀（4）的入口相连。

9.根据权利要求1至7任一所述的一种单组份动态配气装置，其特征在于，还包括三通管（7）、第一针型阀（8）、第二针型阀（15）、转子流量计（16）：所述三通管（7）的入口与混合器（6）的出口相连，三通管（7）的两个出口分别与第一针型阀（8）和第二针型阀（15）相连，所述第二针型阀（15）后还连接有转子流量计（16）。

10.根据权利要求1至7任一所述的一种单组份动态配气装置，其特征在于，所述稀释气质量流量控制器（5）的量程大于原料气质量流量控制器（1）的量程。