[发明专利]一种提高太赫兹扫描成像速度的方法和系统

权利要求书

1.一种提高太赫兹扫描成像速度的系统，其特征在于，包括太赫兹波源、太赫兹波探测器、第一分束镜、准直透镜、第二分束镜、平面金属反射镜、第一斩波器、第二斩波器、斩波器控制器、第一90°离轴抛物面金属反射镜、第二90°离轴抛物面金属反射镜、二维电控位移台、电控位移台控制器、计算机和数据采集卡；

所述第一分束镜将太赫兹波源发出的太赫兹波光束转至准直透镜；所述准直透镜用于扩大太赫兹波光束的束腰半径；所述第二分束镜用于将经过准直透镜的太赫兹光路按能量均分为两路；第二分束镜分束后的一路太赫兹光束进入第二斩波器；平面金属反射镜用于协助将分束后的另一路太赫兹光束折射至第一斩波器；所述第一斩波器和第二斩波器用于对两路太赫兹波光束进行斩波；斩波器控制器用于控制第一斩波器和第二斩波器以不同频率运转；所述第一90°离轴抛物面金属反射镜和第二90°离轴抛物面金属反射镜用于将斩波后的太赫兹光束反射、聚焦至待测物体表面；二维电控位移台用于使待测物体在二维平面内运动，使太赫兹聚焦光斑在物体表面形成二维扫描；电控位移台控制器用于控制二维电控位移台；所述第一分束镜用于将返回的太赫兹波反射被太赫兹探测器接收；所述太赫兹波探测器用于将接收到的太赫兹波转换为电压信号；所述计算机用于对通过数据卡通采集的转换的电压信号进行图像处理。

2.一种提高太赫兹扫描成像速度的方法，其特征在于,包括以下步骤：

让太赫兹波源发射的连续太赫兹波经过准直透镜后形成准平行光束，然后用分束器平分为两路；

在两路太赫兹波光束中分别插入第一斩波器和第二斩波器，斩波频率分别为f₁和f₂；

两路太赫兹波光束分别被90°离轴抛物面金属反射镜反射，在待测物体表面两个不同位置分别形成聚焦光斑；

被待测物体表面反射的两路太赫兹波原路返回，经过第二分束镜被太赫兹探测器所接收；

太赫兹探测器将接收到的太赫兹波转换为电压信号，并输出含有两种调制频率为f₁和f₂的模拟电压信号，该信号通过数据卡被计算机采集；

在计算机中采用数字滤波技术，根据频率不同分别提取得到两路太赫兹波的反射信号强度；

控制二维电控位移台使太赫兹聚焦光斑在待测物体表面二维扫描，获取待测物体每一点的反射信号强度，通过数据融合获得待测物体的二维太赫兹波反射图像。

3.一种提高太赫兹扫描成像速度的方法，其特征在于,包括以下步骤：

让太赫兹波源发射的连续太赫兹波经过准直透镜后形成准平行光束，然后将经过准直的太赫兹波束平分为N路，N大于2；

在N路太赫兹波束中分别插入N个斩波器，每路都采用不同的斩波频率；

让N路太赫兹波束分别被N个90°离轴抛物面金属反射镜反射，在待测物体表面N个不同位置分别形成聚焦光斑；

被待测物体表面反射的N个太赫兹波原路返回，最终被太赫兹探测器所接收；

太赫兹探测器将接收到的太赫兹波转换为电压信号，并输出含有N种调制频率的模拟电压信号，该信号通过数据卡被计算机采集；

在计算机中采用数字滤波技术，根据频率不同分别提取得到N路太赫兹波的反射信号强度；

控制二维电控位移台使太赫兹聚焦光斑在待测物体表面二维扫描，获取待测物体每一点的反射信号强度，通过数据融合获得待测物体的二维太赫兹波反射图像。