[发明专利]温度监控装置及等离子体加工设备

权利要求书

1.一种温度监控装置，用于监控位于反应腔室内的被加热体的不同区域的温度以控制加热功率，其特征在于，所述温度监控装置包括加热单元、检测单元、驱动单元和控制单元，其中

所述加热单元用于对所述被加热体的不同区域进行加热；

所述检测单元包括温度检测模块，所述温度检测模块用于检测所述被加热体的不同区域内的温度，并将检测到的温度发送到所述控制单元；

所述驱动单元用于驱动所述温度检测模块在所述反应腔室内移动，以使所述温度检测模块在移动的过程中分别检测所述被加热体不同区域的温度；

所述控制单元用于根据所述温度检测模块发送而来的温度与预设标准温度进行比较，并在二者存在偏差时，校准所述加热单元对所述温度检测模块发送的温度所对应的检测区域的输出功率。

2.根据权利要求1所述的温度监控装置，其特征在于，所述被加热体包括沿其径向划分的多个互为同心的区域，所述检测单元还包括位置检测模块，所述位置检测模块用于在所述温度检测模块移动的过程中实时检测所述温度检测模块的位置，并将其发送至所述控制单元；

所述控制单元用于根据所述位置检测模块发送而来的位置判断由所述温度检测模块在该位置处发送而来的温度属于被加热体的区域，并将该温度与预设标准温度进行比较，且在二者存在偏差时校准所述加热单元对所述被加热体的该区域的输出功率。

3.根据权利要求2所述的温度监控装置，其特征在于，所述被加热体包括沿其径向由内向外划分的互为同心的中心区域和边缘区域，所述加热单元包括中心加热模块和边缘加热模块，所述中心加热模块用于对被加热体的中心区域进行加热；所述边缘加热模块用于对被加热体的边缘区域进行加热；

所述驱动单元用于驱动所述温度检测模块在所述反应腔室的中心区域和边缘区域之间移动，以使所述温度检测模块在移动的过程中分别检测所述被加热体的中心区域和边缘区域的温度，并将其发送至所述控制单元；所述位置检测模块用于在所述温度检测模块移动的过程中实时检测所述温度检测模块的位置，并将其发送至所述控制单元；

所述控制单元用于根据所述位置检测模块发送而来的位置判断由所述温度检测模块在该位置处发送而来的温度属于被加热体的中心区域温度或边缘区域温度，若属于被加热体的中心区域温度，则将其与预设标准温度进行比较，并在二者存在偏差时校准所述中心加热模块的输出功率；若属于被加热体的边缘区域温度，则将其与预设标准温度进行比较，并在二者存在偏差时校准所述边缘加热模块的输出功率。

4.根据权利要求3所述的温度监控装置，其特征在于，所述位置检测模块包括磁感应器和磁体，其中

所述磁感应器设置在与被加热体的中心相对应的位置处，所述磁体设置在与所述温度检测模块相对应的位置处，并随所述温度检测模块同步移动，并且

所述磁感应器被设置为：在所述磁体处于所述被加热体的中心区域时感应到由所述磁体产生的磁场，而在所述磁体处于所述被加热体的边缘区域时无法感应到由所述磁体产生的磁场；所述磁感应器在感应到由所述磁体产生的磁场时向所述控制单元发送信号；

所述控制单元在接收到来自所述磁感应器的信号时，则确定此时由所述温度检测模块发送而来的温度属于被加热体的中心区域温度；在未接收到来自所述磁感应器的信号时，则确定此时由所述温度检测模块发送而来的温度属于被加热体的边缘区域温度。

5.根据权利要求3所述的温度监控装置，其特征在于，所述位置检测模块包括磁感应器和磁体，其中

所述磁体设置在与所述被加热体的中心相对应的位置处，所述磁感应器设置在与所述温度检测模块相对应的位置处，并随所述温度检测模块同步移动，并且

所述磁感应器被设置为：在所述磁感应器处于所述被加热体的中心区域时感应到由所述磁体产生的磁场，而在所述磁感应器处于所述被加热体的边缘区域时无法感应到由所述磁体产生的磁场；所述磁感应器在感应到由所述磁体产生的磁场时向所述控制单元发送信号；

所述控制单元在接收到来自所述磁感应器的信号时，则确定此时由所述温度检测模块发送而来的温度属于被加热体的中心区域温度；在未接收到来自所述磁感应器的信号时，则确定此时由所述温度检测模块发送而来的温度属于被加热体的边缘区域温度。