[发明专利]分光装置和分光用光源无效
申请号: | 201310549829.2 | 申请日: | 2013-11-07 |
公开(公告)号: | CN103808707A | 公开(公告)日: | 2014-05-21 |
发明(设计)人: | 伊贺光博;田名网健雄;角龍信之 | 申请(专利权)人: | 横河电机株式会社 |
主分类号: | G01N21/65 | 分类号: | G01N21/65;G01J3/02;G02B26/08 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 李雪春;王维玉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分光 装置 用光 | ||
1.一种分光装置,其特征在于,包括:
光学系统,使输出光透过,所述输出光从接收到来自光源的照射光的试样输出;
二维阵列光检测器,拍摄透过所述光学系统的光;以及
控制器,
所述光学系统包括:
第一光学器,设置在所述试样和所述二维阵列光检测器之间;
第二光学器,设置在所述二维阵列光检测器和所述第一光学器之间;以及
可变带通滤光器,设置在所述第一光学器和所述试样之间、以及所述第二光学器和所述二维阵列光检测器之间的至少一个上,
所述控制器配合所述二维阵列光检测器的拍摄时机,改变所述可变带通滤光器的光透过波长频带。
2.根据权利要求1所述的分光装置,其特征在于,所述控制器通过控制所述可变带通滤光器,扫描预先确定的多个所述透过波长频带。
3.根据权利要求1所述的分光装置,其特征在于,
所述控制器通过控制所述二维阵列光检测器的拍摄时机,以预先确定的时间间隔拍摄所述输出光,
并且通过控制所述可变带通滤光器,将所述透过波长频带改变为具有预先确定的间隔的波长频带。
4.根据权利要求1所述的分光装置,其特征在于,
所述分光装置还包括偏振器,所述偏振器使透过所述可变带通滤光器的光向预先确定的偏振光方向偏振,
所述控制器改变所述偏振器的偏振光方向。
5.根据权利要求1所述的分光装置,其特征在于,还包括光轴调整器,所述光轴调整器修正来自所述试样的输出光光轴在二维平面上的位置偏移。
6.根据权利要求1所述的分光装置,其特征在于,
所述可变带通滤光器包括多个滤光器,所述多个滤光器具有相互不同的透过波长频带,
所述分光装置还包括支承构件,所述支承构件能够切换所述多个滤光器,并且将所述多个滤光器支承成能够相对于光轴转动。
7.根据权利要求6所述的分光装置,其特征在于,
所述支承构件是能够转动的圆板状的滤光轮,
所述滤光轮支承所述滤光器使其在规定的转动位置与光轴相交。
8.根据权利要求6所述的分光装置,其特征在于,所述支承构件是能够沿与光轴相交的直线移动的滑动件。
9.根据权利要求6所述的分光装置,其特征在于,还包括转动器,所述转动器使整个所述支承构件相对于光轴转动。
10.根据权利要求1所述的分光装置,其特征在于,所述光学系统能够与显微镜或望远镜的光学系统连接或一体化。
11.根据权利要求1所述的分光装置,其特征在于,所述可变带通滤光器根据相对于光轴的入射角度使透过波长频带变化。
12.根据权利要求1所述的分光装置,其特征在于,所述第一光学器和所述第二光学器形成远心光学系统。
13.一种分光用光源,其特征在于,包括:
权利要求1~12中任意一项所述的分光装置;以及
光源,向所述试样照射光。
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