[发明专利]用于烧结炉内的集成电路支架在审
申请号: | 201310551344.7 | 申请日: | 2013-11-10 |
公开(公告)号: | CN104637846A | 公开(公告)日: | 2015-05-20 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 陕西杰创科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
地址: | 710065 陕西省西安市高新区锦业路69*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 烧结炉 集成电路 支架 | ||
技术领域
本发明涉及一种用于烧结炉内的集成电路支架。
背景技术
集成电路工艺中,刷上图案的电路基板经常需要过氢气烧结,以进行固化提高可靠性。现有技术是将电路放在玻璃皿中,然后将玻璃皿放在烧结炉的传送带上,进行高温烧结。由于烧结温度比较高,一般都是数百度以上,所以从传送带出来的玻璃皿非常热,操作人员需要带上厚手套将其取走,不够方便,另外,玻璃皿中装的电路,如果已经带有管脚,则又需要将其倒置以免管脚在玻璃皿中被损坏。有用常温传送带直接承接高温玻璃皿的装置,但是需要额外设置空间供其安装,同时,承接过程中也容易造成器皿碰撞等事故。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种用于烧结炉内的集成电路支架,能够方便地放置电路,出烧结炉传送带后,利用夹子将其夹走即可。
为了实现上述目的,本发明采用的技术方案是:
一种用于烧结炉内的集成电路支架,包括一块竖直板3,竖直板3的一侧连接有水平的上板4、中板6和下板2,上板4上有用于放置集成电路的透孔5,中板6的下表面和下板2的上表面之间以连接件1连接。
所述连接件1为连接柱或者连接板。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
1、带有透孔,安放带有管脚的半成品电路时不伤管脚。
2、出传送带后直接用夹子可将其取走,不用戴厚手套,减少了劳保设备损耗,也避免了烫伤事故。
3、不需额外增加设备安装区域。
附图说明
图1是本发明结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例详细说明本发明的实施方式。
如图1所示,一种用于烧结炉内的集成电路支架,包括一块竖直板3,竖直板3的一侧连接有水平的上板4、中板6和下板2,上板4上有用于放置集成电路的透孔5,中板6的下表面和下板2的上表面之间以连接件1连接连接件1可以为连接柱或者连接板。
本发明的工作过程是:
将电路逐一放在透孔5中,由于一般电路的基板尺寸均有几个较为固定的参数,所以定制几个型号的透孔5即可满足工程需要。支架随传送带经过烧结炉,在高温下完成烧结固化,然后,被传送出来,出来的支架温度一般可达数百度,此时用夹子夹持在连接件1的两侧,可轻松将支架取走。支架的受力位置在中板6的下表面,不会造成电路损伤。而中板6与上板4之间的为电路管脚提供了空间,即使是带有管脚的基板,也不需要倒置,方便了前后工艺衔接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造