[发明专利]纳米压印结合湿法刻蚀在曲面上制备金属图案的方法

权利要求书

1.纳米压印结合湿法刻蚀在曲面上制备金属图案的方法，其特征在于，具体步骤如下：

1）首先将曲面材料表面用去离子水清洗干净，干燥后通过电子束蒸镀或磁控溅射的方法在曲面材料上蒸镀一层金属薄膜；

2）在洁净硅片表面旋涂一层紫外固化压印胶；

3）将柔性纳米压印模板覆盖于旋涂好的压印胶上，过1-5分钟后将其覆盖于步骤1）制备的镀有金属的曲面上，并紫外固化；

4）压印胶固化后将表面的压印软模板移去，则获得曲面上的聚合物压印结构，在压印结构之下有一层均匀的金属薄膜；

5）采用氧等离子体进行反应离子刻蚀，除去压印胶；

6）在腐蚀液中以固化聚合物为掩膜进行湿法刻蚀；

7）以氧等离子进行反应离子刻蚀，除去固化的聚合物，从而在曲面上得到金属图形。

2.根据权利要求1所述的纳米压印结合湿法刻蚀在曲面上制备金属图案的方法，其特征在于，步骤2）旋涂的紫外固化纳米压印胶为含丙烯酸酯基团的预聚体、含丙烯酸酯基团的单体或两者的混合物在溶有紫外光引发剂高沸点溶剂中的溶液。

3.根据权利要求1所述的纳米压印结合湿法刻蚀在曲面上制备金属图案的方法，其特征在于，步骤1）所蒸镀的金属为金、银、铜、铝或铬。

4.根据权利要求3所述的纳米压印结合湿法刻蚀在曲面上制备金属图案的方法，其特征在于，蒸镀金属的厚度为1～100纳米。

5.根据权利要求3或4所述的纳米压印结合湿法刻蚀在曲面上制备金属图案的方法，其特征在于，当蒸镀金属为金或银时，湿法刻蚀液的组成为九水合硝酸铁与硫脲的水溶液，其pH值用稀盐酸调至为1-5；当蒸镀金属为铜时，湿法刻蚀液的组成为氯化铁的水溶液；当蒸镀金属为铬时，湿法刻蚀液的组成为硝酸铈铵的冰醋酸溶液。