[发明专利]低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器

权利要求书

1.一种低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器，包括XYZ压电扫描管（1），其特征是还包括导轨架（2）、滑杆（3）、弹簧片（4），所述XYZ压电扫描管（1）与滑杆（3）共轴并且在一端相互固定，所述弹簧片（4）将滑杆（3）外壁平行地压于导轨架（2）的导轨（2a）上，滑杆（3）的两端皆伸出于导轨架（2）的导轨（2a）长度以外，这种形成摩擦力的结构不仅最简单，而且局域摩擦条件和摩擦系数易于保持一致，同时形成摩擦力的正压力在全部行程内不会发生变化，从而产生恒定、一致、可重复的摩擦力，降低了扫描器的回差；此外，导轨（2a）的全长处于滑杆（3）长度之内，避免了导轨（2a）端面与滑杆（3）端面之间的相互作用，使得导轨（2a）与滑杆（3）之间的摩擦面不易受损，提高了摩擦的重复性，也减少了回差。

2.根据权利要求1所述的一种低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器，其特征是所述导轨架的导轨的中段下沉，与所述滑杆外壁分离。

3.根据权利要求1或2所述的一种低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器，其特征是所述导轨架的导轨为平行双导轨。

4.根据权利要求1或2所述的一种低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器，其特征是所述导轨架由钨或钽或铬或包含它们之一的合金制成。

5.根据权利要求1或2所述的一种低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器，其特征是所述滑杆为圆杆或方杆或六边形杆并由三氧化二铝或二氧化硅或陶瓷制成且表面抛光。

6.一种根据权利要求1或2所述的低回差高重复扫描探针显微镜独立扫描器制成的扫描探针显微镜镜体，其特征是在所述导轨架上增设推动滑杆沿导轨方向移动的压电马达。

7.一种根据权利要求6所述的扫描探针显微镜镜体，其特征是增设的压电马达为壁虎马达或熊猫马达或金枪鱼马达或尺蠖马达或潘氏马达或惯性马达。