[发明专利]膜处理装置

权利要求书

1.一种膜处理装置，包括：

供给具有第一表面和第二表面的膜的膜供给单元；

加工从所述膜供给单元供给的所述膜的膜加工单元；

收集来自所述膜加工单元的所述膜的膜收集单元；

支撑所述膜的所述第一表面或所述第二表面并引导所述膜的移动的固定支撑单元；和

通过从所述膜的所述第一表面向所述膜的所述第二表面或者从所述膜的所述第二表面向所述膜的所述第一表面移动对所述膜施加张力的移动支撑单元，

其中所述固定支撑单元包括在第一方向上与所述膜供给单元分离的第一固定辊、在不同于所述第一方向的第二方向上与所述第一固定辊分离的第二固定辊和在不同于所述第二方向的第三方向上与所述第二固定辊分离的第三固定辊，

其中所述移动支撑单元包括设置在所述膜供给单元和所述第一固定辊之间的第一移动辊，

其中连接所述膜供给单元和所述第一固定辊的第一线段被定义，并且

其中所述第一移动辊移动越过所述第一线段。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述膜加工单元被设置在所述第二固定辊和所述第三固定辊之间。

3.如权利要求2所述的装置，其中所述移动支撑单元进一步包括设置在所述第一固定辊和所述第二固定辊之间的第二移动辊和设置在所述第三固定辊和所述膜收集单元之间的第三移动辊。

4.如权利要求3所述的装置，其中连接所述第一固定辊和所述第二固定辊的第二线段以及连接所述第三固定辊和所述膜收集单元的第三线段被定义，其中所述第二移动辊移动越过所述第二线段，并且所述第三移动辊移动越过所述第三线段。

5.如权利要求3所述的装置，其中将所述膜供给单元、所述固定辊和所述膜收集单元作为其顶点的多边形的第一区域被定义，并且所述移动支撑单元包括多个移动辊，其中所述多个移动辊从所述第一区域的内侧向所述第一区域的外侧或者从所述第一区域的外侧向所述第一区域的内侧移动。

6.如权利要求1所述的装置，其中所述膜为包括膜层和支撑层的各向异性导电膜，并且所述膜加工单元包括将所述各向异性导电膜的所述膜层附着到目标对象的结合单元。

7.如权利要求1所述的装置，其中所述膜加工单元通过在所述膜上执行处理来改变所述膜的物理和化学性质。

8.如权利要求1所述的装置，其中所述膜加工单元用材料涂覆所述膜或者通过将另一膜附着到所述膜上而形成膜层叠结构。

9.一种膜处理装置，包括：

退绕辊；

在第一方向上与所述退绕辊分离的第一固定辊；

在不同于所述第一方向的第二方向上与所述第一固定辊分离的第二固定辊；

在不同于所述第二方向的第三方向上与所述第二固定辊分离的膜加工单元；

与所述第二固定辊分离的第三固定辊，其中所述膜加工单元被介于所述第二固定辊和所述第三固定辊之间；

与所述第三固定辊分离的卷绕辊；

设置在所述退绕辊和所述第一固定辊之间的第一移动辊；

设置在所述第一固定辊和所述第二固定辊之间的第二移动辊；和

设置在所述第三固定辊和所述卷绕辊之间的第三移动辊。

10.如权利要求9所述的装置，其中连接所述退绕辊和所述第一固定辊的第一线段、连接所述第一固定辊和所述第二固定辊的第二线段、连接所述第三固定辊和所述卷绕辊的第三线段被定义，其中所述第一移动辊移动越过所述第一线段，所述第二移动辊移动越过所述第二线段，并且所述第三移动辊移动越过所述第三线段，

其中将所述退绕辊、所述第一固定辊、所述第二固定辊、所述第三固定辊和所述卷绕辊作为其顶点的多边形的第一区域被定义，其中所述第一移动辊、所述第二移动辊和所述第三移动辊从所述第一区域的内侧向所述第一区域的外侧移动，

其中所述退绕辊供给包括膜层和支撑层的各向异性导电膜，并且所述膜加工单元包括将所述各向异性导电膜的所述膜层附着到目标对象的结合单元。