[发明专利]一种耐高温缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种耐高温缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

（1）取十二烷基二甲基叔胺、多乙烯多胺混合，搅拌，用水稀释，优选稀释为25%～35%，更优选稀释为30%；搅匀后制成药剂A；所述的十二烷基二甲基叔胺、多乙烯多胺用量比例为重量比1：1.5～2.5，优选为重量比1：2；

（2）取多乙烯多胺和吗啉混合，搅拌，用水稀释，优选稀释为25%～35%，更优选稀释为30%；搅匀后制成药剂B；所述多乙烯多胺、吗啉用量比为重量比1.5～2.5:1，优选为重量比2：1；

（3）取吡啶和吗啉混合，搅拌，用水稀释，优选稀释为25%～35%，更优选稀释为30%；搅匀后制成药剂C；所述的吡啶、吗啉用量比例为重量比1：1.25～1.75，优选为重量比2：3；

（4）搅拌条件下，将药剂A、B、C依次加入至反应容器，混合，用水稀释，优选稀释为20%～30%，更优选稀释为25%；然后再搅匀，制成所述耐高温缓蚀剂；所述药剂A、B、C重量用量比为A：B：C=0.75～1.25：1.75～2.15：0.75～1.25，优选为A：B：C=0.75：1.75：0.75；或者1：2：1；或者1.25：2.15：1.25。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（1）中取十二烷基二甲基叔胺、多乙烯多胺混合后将混合液升温至130～140℃，优选升温至135℃，搅拌均匀后降温至室温；用水稀释后将反应液升温至80～90℃，优选升温至85℃，搅匀后降温至室温，制成药剂A。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，步骤（1）中取十二烷基二甲基叔胺、多乙烯多胺混合后将混合液在转速55～65转/分下搅拌10～20分钟再将混合液升温，优选为在转速60转/分下搅拌15分钟；将混合液升温后搅拌25～35分钟再降温至室温，优选为搅拌30分钟；用水稀释并将反应液升温后搅拌40～50分钟再降温至室温，优选为搅拌45分钟。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（2）中取多烯多胺和吗啉混合后将混合液升温至145～155℃，优选升温至150℃，搅拌均匀后降温至室温；用水稀释后将反应液升温至80～90℃，优选升温至85℃，搅匀后降温至室温，制成药剂B。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，步骤（2）中取多烯多胺和吗啉混合后将混合液在转速55～65转/分下搅拌10～20分钟再将混合液升温，优选为在转速60转/分下搅拌15分钟；将混合液升温后搅拌10～20分钟再降温至室温，优选为搅拌15分钟；用水稀释并将反应液升温后搅拌40～50分钟再降温至室温，优选为搅拌45分钟。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（3）中取吡啶和吗啉混合后将混合液升温至130～140℃，优选升温至135℃，搅拌均匀后降温至室温；用水稀释后升温至80～90℃，优选升温至85℃，搅匀后降温至室温，制成药剂C。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，步骤（3）中取吡啶与吗啉混合后将混合液在转速55～65转/分下搅拌10～20分钟再将混合液升温，优选为在转速60转/分下搅拌15分钟；将混合液升温后搅拌25～35分钟再降温至室温，优选为搅拌30分钟；用水稀释并将反应液升温后搅拌25～35分钟再降温至室温，优选为搅拌30分钟。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤（4）中药剂A、B、C加入至反应容器后将反应液升温至145～155℃，优选升温至150℃，混合均匀后降温至室温；用水稀释后将反应液升温至80～90℃，优选升温至85℃，搅匀后降温至室温，制成所述耐高温缓蚀剂。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，步骤（4）中药剂A、B、C是在转速40～50转/分，优选为转速45转/分的搅拌条件下加入至反应容器；加入反应容器后在转速55～65转/分下搅拌25～35分钟再将反应液升温，将反应液升温后搅拌40～50分钟再降温至室温，优选为在转速60转/分下搅拌30分钟再将反应液升温，将反应液升温后搅拌45分钟再降温至室温；用水稀释并将反应液升温后搅拌40～50分钟再降温至室温，优选为搅拌45分钟。

10.权利要求1～9任意一项所述方法制备的耐高温缓蚀剂。