[发明专利]一种单电机驱动双摆臂转动的装置

权利要求书

1.一种单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：包括电机（14）、单元固定板（15）、减速器（13）及摆臂单元，其中电机（14）通过单元固定板（15）安装在晶圆处理单元底座上，所述电机（14）的输出端连接有减速器（13），在减速器（13）的输出端连接有第二同步带轮（12），该第二同步带轮（12）的圆周上设有齿；所述电机（14）的两侧对称设置有结构相同的摆臂单元，该摆臂单元包括带轮轴（17）、第一同步带轮（11）、同步传动机构、摆臂轴（8）及摆臂（1），所述带轮轴（17）及摆臂轴（8）分别转动安装在所述单元固定板（15）上，在带轮轴（17）上连接有与所述第二同步带轮（12）相啮合的第一同步带轮（11），所述第一同步带轮（11）通过同步传动机构与摆臂轴（8）的一端相连，摆臂轴（8）的另一端连接有摆臂（1）；所述电机（14）两侧的摆臂（1）通过电机（14）驱动分别摆动，完成对晶圆（18）的喷洒后复位。

2.按权利要求1所述单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：所述同步传动机构包括过渡同步带轮（9）、同步带（7）及摆臂轴同步带轮（6），所述过渡同步带轮（9）与第一同步带轮（11）同轴相连，摆臂轴同步带轮（6）连接于所述摆臂轴（8）的一端，所述过渡同步带轮（9）与摆臂轴同步带轮（6）之间通过同步带（7）相连。

3.按权利要求1所述单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：所述过渡同步带轮（9）位于第一同步带轮（11）的下方，并套接在带轮轴（17）上，该过渡同步带轮（9）通过同步带转接块（10）与所述第一同步带轮（11）连动。

4.按权利要求1所述单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：所述摆臂轴同步带轮（6）通过齿轮轴转接块（5）与摆臂轴（8）连接，并带动摆臂轴（8）转动。

5.按权利要求1或2所述单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：所述第二同步带轮（12）的四分之一圆周设有齿，所述电机（14）驱动两侧的摆臂（1）在90°范围内摆动。

6.按权利要求1或2所述单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：所述电机（14）的两侧对称设有分别安装在单元固定板（15）上的接近开关传感器（3），每个摆臂轴（8）上均设有与所述接近开关传感器（3）相对应的传感器挡片（4）。

7.按权利要求1或2所述单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：所述电机（14）与减速器（13）同轴键合，在所述单元固定板（15）上安装有腔体底板（16），所述电机（14）容置于该腔体底板（16）上的腔体内。

8.按权利要求1或2所述单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：所述摆臂（1）的一端与摆臂轴（8）的另一端相连，摆臂（1）的另一端设有喷嘴；所述摆臂（1）通过电机（14）的驱动在所述晶圆（18）的上方做往复变速扫描运动。