[发明专利]一种粗化表面的透明电容的制造方法在审
| 申请号： | 201310554440.7 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103594245A | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 张翠 | 申请（专利权）人： | 溧阳市江大技术转移中心有限公司 |
| 主分类号： | H01G4/14 | 分类号： | H01G4/14;H01G4/008 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 黄明哲 |
| 地址： | 213300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面 透明 电容 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种粗化表面的透明电容的制造方法，包括：
提供第一透明电极和第二透明电极；
对第一透明电极的上表面以及第二透明电极的下表面进行粗化以形成粗化表面；
提供透明绝缘介质层；
顺序层合第一透明电极、透明绝缘介质层以及第二透明电极，形成具有粗化表面的透明电容。
2.根据权利要求1所述的粗化表面的透明电容的制造方法，其中粗化表面如下形成：
将含镍纳米粒子分散液旋涂在第一透明电极的上表面以及第二透明电极的下表面，从而形成单层镍纳米粒子薄膜；
对单层镍纳米粒子薄膜进行烘干，形成ICP刻蚀所需的单层镍纳米粒子的掩模层；
利用单层镍纳米粒子的掩模层对第一透明电极和第二透明电极进行ICP刻蚀，从而在第一透明电极的上表面以及第二透明电极的下表面形成粗化表面；
去除单层镍纳米粒子的掩模层。
3.根据权利要求1所述的粗化表面的透明电容的制造方法，其中粗化表面如下形成：
在第一透明电极的上表面以及第二透明电极的下表面分别排列单层自组装聚苯乙烯颗粒，并在单层自组装聚苯乙烯颗粒的间隙之间填充二氧化硅凝胶；
对单层自组装聚苯乙烯颗粒进行加热，从而使单层自组装聚苯乙烯颗粒气化，形成二氧化硅凹凸图案；
利用二氧化硅凹凸图案对第一透明电极和第二透明电极进行ICP刻蚀，从而将凹凸图案转移到在第一透明电极的上表面以及第二透明电极的下表面，从而形成粗化表面。
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