[发明专利]一种合成射流无阀压电微混合器

权利要求书

1.一种合成射流无阀压电微混合器，包括键合在一起的泵盖（1）和泵体（22），第一压电振子（4）固定于泵盖（1）的正上方，泵盖（1）的左部分上设有两个泵进口（8、9）、正中间设有泵腔（17）的上半部分、右部分设有泵出口（7），其特征是：泵体（22）的上部分设有结构相同、同轴布置、相对于泵腔（17）左右对称的进口混合流道（2）和出口混合流道（3）、两个结构相同且相对于所述混合流道的中心线前后对称布置的进口缓冲腔（15、16）、一个出口缓冲腔（14）和泵腔（17）的下半部分，泵体（22）下部分设有两个结构相同、中心轴线与所述混合流道的中心轴线相垂直的、相对于泵腔（17）左右对称的两个合成射流腔（10、11）以及两个结构相同的合成射流流道（12、13）；泵腔（17）的圆心和出口缓冲腔（14）的圆心在同一直线上且与所述混合流道的中心轴线重合；进口混合流道（2）和出口混合流道（3）均是由两个分流流道和一个汇流流道组成Y型混合流道；两个合成射流腔（10、11）上部是与其连通的对应的合成射流流道（12、13），第二、第三压电振子（5、6）各固设在两个合成射流腔（10、11）的正下方；泵进口（8、9）与对应的进口缓冲腔（15、16）连通，两个合成射流腔（10、11）和对应的进口混合流道（2）和出口混合流道（3）相通，第一压电振子（4）两端加载交变电压信号，第二、第三压电振子（5、6）上施加的交变电压电压频率大于或等于第一压电振子（4）的电压频率。

2.根据权利要求1所述的一种合成射流无阀压电微混合器，其特征是：所述分流流道（18、19、20、21）的宽度                                               均为80μm~300μm、长度均是宽度的4~6倍；所述汇流流道（23、24）的宽度是宽度的1.5~2倍、长度是长度的4~6倍，所述分流流道（18、19、20、21）和汇流流道（23、24）的高度是宽度的1~1.5倍，所述分流流道（18、19、20、21）的中心轴线和所述汇流流道（23、24）的中心轴线的夹角为30°~90°。

3.根据权利要求2所述一种合成射流无阀压电微混合器，其特征是： 所述每个合成射流腔（10、11）的腔体高度为40μm~60μm、直径是高度的1~1.5倍；所述每个射流流道（12、13）出口截面宽度为10μm~20μm、长度是宽度的10~15倍、高度是宽度的10~15倍、出口位置与对应的分流流道（18、19、20、21）、汇流流道（23、24）交汇处的距离是宽度的0.5~5倍、中心轴线与对应的汇流流道（23、24）中心轴线的距离是宽度的0~0.25倍。