[发明专利]一种电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的装置及加工方法

权利要求书

1.一种电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的装置，包括微细超声加工机床，其特征在于，还包括电泳直流电源、微细工具、工作液、超微磨粒、微孔工件、电泳辅助圆形电极；

所述微细超声加工机床包括主轴系统、进电系统、主轴微细超声纵振系统；

所述电泳直流电源通过所述进电系统，其正极与微细工具连接，其负极与电泳辅助圆形电极连接；

所述超微磨粒分布在工作液中，超微磨粒的平均粒径小于1微米；

所述微孔工件，其微孔直径小于等于100微米。

2.如权利要求1所述的电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的装置，其特征在于，所述微细超声加工机床的主轴系统为可旋转的。

3.如权利要求1所述的电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的装置，其特征在于，所述微细工具通过在线加工完成。

4.如权利要求1所述的电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的装置，其特征在于，所述微细工具其在线加工为微细电火花块反拷法或微细电化学法或其二者的组合。

5.如权利要求1所述的电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的装置，其特征在于，所述微细工具的直径小于所述微孔工件的孔径。

6.一种使用如权利要求1所述装置实施电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）微孔工件固定安装在工作液槽中的工作台上；

（2）电泳直流电源的正极与微细工具连接，电泳直流电源的负极与电泳辅助圆形电极连接；

（3）微细工具通过微细工具夹头安装在主轴微细超声纵振系统上，微细工具在超声电源的驱动下沿轴向高频振动；

（4）电泳辅助圆形电极通过电泳辅助圆形电极夹具安装浸泡于工作液中，由于电泳的吸附作用，使工作液中的超微磨粒在电场力的驱动下吸附到微细工具表面；

（5）微孔工件和微细工具在微细超声加工机床的伺服进给系统驱动下，贯穿于微孔工件，微细工具沿轴向高频振动，带动工作液剧烈扰动，从而使超微磨粒滑擦微孔工件的内表面，以达到对微孔工件进行抛光的目的；实施电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的加工。

7.如权利要求6所述的一种实施电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的方法，其特征在于，所述微细超声加工机床的主轴系统为可旋转的。

8.如权利要求7所述的一种实施电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的方法，其特征在于，所述微细工具通过在线加工完成。

9.如权利要求8所述的一种实施电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的方法，其特征在于，所述微细工具其在线加工为微细电火花块反拷法或微细电化学法或其二者的组合。

10.如权利要求9所述的一种实施电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的方法，其特征在于，所述微细工具的直径小于所述微孔工件的孔径。