[发明专利]一种离子束采集系统与离子束采集方法有效
| 申请号： | 201310557474.1 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103794447A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 王高腾 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 采集 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子束采集系统与离子束采集方法，包括计算机(1)与运动控制器(2)实现的控制策略与控制程序，直流电机(3)带动移动法拉第杯(4)采集离子束水平方向各点的束流大小，通过直流电机(3)每运动等距离，运动控制器(2)内部产生硬件触发脉冲，运动控制器(2)通过判断该硬件触发脉冲的上升沿，从而对进入移动法拉第杯(4)的束流进行采集。
2.如权利要求1所述的一种离子束采集系统与离子束采集方法，其特征在于，直流电机(3)每运动等距离，运动控制器(2)内部产生等距硬件触发脉冲，运动控制器(2)根据该硬件触发脉冲的上升沿采集进入移动法拉第杯(4)的离子束流。
3.如权利要求1所述的一种离子束采集系统与离子束采集方法，其特征在于，运动控制器(2)根据直流电机(3)的运动产生等距硬件触发脉冲。
4.如权利要求1所述的一种离子束采集系统与离子束采集方法，其特征在于，运动控制器(2)对进入移动法拉第杯(4)离子束流的采集，是通过判断硬件触发脉冲的上升沿或下降沿来实现的。
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