[发明专利]一种垂直方向角度测量的装置有效
申请号: | 201310557516.1 | 申请日: | 2013-11-08 |
公开(公告)号: | CN103794448A | 公开(公告)日: | 2014-05-14 |
发明(设计)人: | 刘瑞强;庞云玲 | 申请(专利权)人: | 北京中科信电子装备有限公司 |
主分类号: | H01J37/244 | 分类号: | H01J37/244;H01J37/317 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 101111 北京市通*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 垂直 方向 角度 测量 装置 | ||
1.一种垂直方向角度测量的装置,该装置包括:挡束杯(1)、电机及传动机构(2)、驱动轴支撑(3)、编码器(4)、驱动轴(5)、差分抽气系统(6)、水冷系统(7)。
2.如权利要求1所述的一种垂直方向角度测量装置,其特征在于:为了保证挡束杯(1)与束流的物理方向垂直关系,确保测量精度,驱动轴(5)上钻有定位销孔。
3.如权利要求1所述的一种垂直方向角度测量装置,其特征在于:在差分抽气系统(6)中,弹簧密封圈的安装方式与常规的安装方式相反,驱动轴(5)台阶处做了特殊处理,在保证动密封功能的同时,不仅降低了安装过程中弹簧密封圈的破损率,而且降低了安装难度。
4.如权利要求1所述的一种垂直方向角度测量装置,其特征在于:驱动轴支撑(3)与差分抽气系统(6)的结合,有效防止了此装置在工作状态下对真空环境的有害污染。
5.如权利要求1所述的一种垂直方向角度测量装置,其特征在于:通过电机及传动机构(2),再经过驱动轴(5),根据控制系统要求转动的角度,挡束杯(1)旋转到要求的角度,挡住经过的部分束流(如图3),通过的束流到要求的束流采集器,根据通过束流产生的电流精确测定束线垂直方向的角度。
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