[发明专利]柠檬酸复合缓蚀剂

权利要求书

1.一种柠檬酸复合缓蚀剂，其特征在于，所述复合缓蚀剂由以下组分按质量百分比组成：

柠檬酸                      3-10%；               

2-巯基苯并咪唑              0.05-0.12% ；

碘化钾                      0.08-0.35%；

三乙醇胺                    0.09-0.15%；

脂肪醇聚氧乙烯醚            0.02-0.06%；

烷基酚聚氧乙烯醚            0.012-0.019%;

余量为水。

2.根据权利要求1所述复合缓蚀剂，其特征在于，所述复合缓蚀剂由以下组分按质量百分比组成：

柠檬酸                      3-6%；               

2-巯基苯并咪唑              0.05-0.1% ；

碘化钾                      0.08-0.29%；

三乙醇胺                    0.09-0.13%；

脂肪醇聚氧乙烯醚            0.03-0.06%；

烷基酚聚氧乙烯醚            0.013-0.017%；

余量为水。

3.根据权利要求书1或2所述复合缓蚀剂，其特征在于，所述复合剂酸洗温度为85°C -95°C。

4.根据权利要求书3所述复合缓蚀剂，其特征在于，所述复合剂酸洗时间为6-8h。

5.根据权利要求书3所述复合缓蚀剂，其特征在于，所述复合剂酸洗液使用时需用碱液调节PH3.5-4.5。

6. 根据权利要求书4所述复合缓蚀剂，其特征在于，所用碱液为氨水。