[发明专利]一种电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的装置及加工方法

权利要求书

1.一种电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的装置，包括超声加工机床，其特征在于，还包括工作液槽、电泳直流电源、工具、工作液、超微磨粒、微孔工件、电泳辅助圆形电极；

所述超声加工机床包括主轴系统、进电系统、主轴超声纵振系统；

所述电泳直流电源通过所述进电系统，其正极与工具连接，其负极与电泳辅助圆形电极连接；

所述工具的端面应能覆盖所需抛光的微孔，且其与微孔工件的表面至少保持一个振幅的距离；

所述超微磨粒分布在工作液中，超微磨粒的平均粒径小于1微米；

所述微孔工件，其微孔直径小于等于50微米。

2.如权利要求1所述的电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的装置，其特征在于，所述微孔工件为单微孔工件。

3.如权利要求1所述的电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的装置，其特征在于，所述微孔工件为群微孔工件。

4.如权利要求1所述的电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的装置，其特征在于，所述工作液槽安装在最小分辨率为0.1微米的三维运动平台上。

5.如权利要求1或4所述的电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的装置，其特征在于，所述超微磨粒不带电，由于其表面能很大，能够吸附溶液中的负电荷呈现负电。

6.一种使用如权利要求1所述装置实施电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）微孔工件固定安装在工作液槽中的工作台上；

（2）电泳直流电源的正极与工具连接，电泳直流电源的负极与电泳辅助圆形电极连接；

（3）工具通过工具夹头安装在主轴超声纵振系统上，工具在超声电源的驱动下沿轴向高频振动；

（4）电泳辅助圆形电极通过电泳辅助圆形电极夹具安装浸泡于工作液中，由于电泳的吸附作用，使工作液中的超微磨粒在电场力的驱动下吸附到工具表面附近；

（5）微孔工件和工具在超声机床的伺服进给系统驱动下，使工具端面能够覆盖所需抛光的微孔，且其与微孔工件表面保持至少一个振幅的距离；工具在溶液中的超声振动引起的正负液压冲击产生挤压与泵吸作用，对微孔内的溶液进行扰动，以及超声空泡溃灭产生的冲击波能够加剧溶液的扰动，从而使溶液中的超微磨粒相对于被加工表面运动，达到对微孔抛光的目的；实施电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的加工。

7.如权利要求6所述的电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的方法，其特征在于，所述微孔工件为单微孔工件。

8.如权利要求6所述的电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的方法，其特征在于，所述微孔工件为群微孔工件。

9.如权利要求6所述的电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的方法，其特征在于，所述工作液槽安装在最小分辨率为0.1微米的三维运动平台上。

10.如权利要求6所述的电泳辅助超声振动驱动磨粒运动抛光微孔的方法，其特征在于，所述超微磨粒不带电，由于其表面能很大，能够吸附溶液中的负电荷呈现负电。