[发明专利]一种化学法镀钯铜键合丝及其制备方法有效
申请号: | 201310559415.8 | 申请日: | 2013-11-13 |
公开(公告)号: | CN103560120A | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 周晓光;杜连民;向翠华;苏宏福;陈彪 | 申请(专利权)人: | 北京达博有色金属焊料有限责任公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/48;C22C9/00;C23C18/42 |
代理公司: | 中国有色金属工业专利中心 11028 | 代理人: | 李子健;李迎春 |
地址: | 100012*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 化学 法镀钯铜键合丝 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及金属键合丝领域,尤其涉及一种化学法镀钯铜键合丝及其制备方法。
背景技术
近几年随着金价不断攀升,封装领域的成本越来越高,目前镀钯铜键合丝代替金丝已经日趋成熟,但是目前国产镀钯铜丝只能应用在低端封装中,而高端封装仍然被国外的镀钯铜丝垄断,而目前世界上的镀钯方法绝大部分为电化学镀钯,工艺繁琐,成本大,污染大。
发明内容
本发明的目的就是针对现有技术存在的问题,提供一种化学法镀钯铜键合丝的制备方法,该方法制备的镀钯铜键合丝性能优秀,并且生产方法安全、节能、环保、简单,极大程度上提高了丝材的生产效率。
上述目的是通过下述方案实现的:
一种化学法镀钯铜键合丝,其特征在于,所述键合丝的元素质量百分比为:铜的质量百分比大于99.95%,磷的质量百分比为0.003%-0.04%,锰的质量百分比为0.003%-0.01%,余量为不可避免的杂质。
一种制备上述镀钯铜键合丝的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
(1)熔铸和拉丝:在熔铸过程中加入0.003%-0.04%的磷和0.003%-0.01%的锰,加热方式采用中频加热,连铸方式采用下引式真空连铸,并控制熔铸和拉丝条件为:熔铸温度为1100-1300℃,真空度1.0*10-5Mpa,精炼时间20-40分钟,连铸速度150-300mm/分钟,形成的铜坯直径为4-10mm,拉丝速度为70-120m/min;
(2)化学镀钯:将铜键合丝成品在退火后单根放入镀钯液进行化学镀钯,镀钯液的钯离子浓度为5-20克每升,镀钯条件为镀钯液的pH值控制在9.5-10.3,镀钯液的温度控制在40-60摄氏度;
(3)退火:利用无水乙醇还原氧化铜的特性(CuO+CH3CH2OH-CH3CHO+Cu+H2O),用氮气加无水乙醇代替氮氢混合气进行退火保护;退火温度为250~500℃;
(4)清洗:利用无水乙醇在高温蒸发时爆炸力打掉丝上的脏物;
(5)对清洗后的键合丝进行复绕。
根据上述的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中使用的镀钯液中各成分的浓度为6.67~27.67g/L PdCl、10~20g/L NaH2PO2、100~160ml/L NH4OH、10~60g/L NH4Cl。
根据上述的制备方法,其特征在于,所述化学镀钯、退火、清洗和复绕一体完成,镀钯退火复绕速度为50米每分钟。
本发明的有益效果:本发明将磷和锰元素微量合金运用在键合铜丝领域中,磷元素微量在铜基体可以提高熔体的流动性,改善铜及合金的焊接性能、耐蚀性能,锰可以提高铜的强度和耐蚀性能。本发明的工艺解决了传统镀钯铜丝生产和性能的诸多问题,使镀钯键合铜丝在生产过程中安全、环保、节能、简单,极大程度上的提高了丝材的生产效率,而生产出的丝材性能十分良好、稳定,可以满足高端封装领域对丝材性能质量的要求。
具体实施方式
本发明的化学法镀钯铜键合丝,其元素质量百分比为:铜的质量百分比大于99.95%,磷的质量百分比为0.003%-0.04%,锰的质量百分比为0.003%-0.01%,余量为不可避免的杂质。
本发明将磷和锰元素微量合金第一次运用在键合铜丝领域中,磷元素微量在铜基体可以提高熔体的流动性,改善铜及合金的焊接性能、耐蚀性能,锰可以提高铜的强度和耐蚀性能。使铜基体在均匀合金化过程中提高了强度和抗氧化性。
本发明的制备方法包括以下步骤:
(1)熔铸和拉丝:在熔铸过程中加入0.003%-0.04%的磷和0.003%-0.01%的锰,加热方式采用中频加热,连铸方式采用下引式真空连铸,并控制熔铸和拉丝条件为:熔铸温度为1100-1300℃,真空度1.0*10-5Mpa,精炼时间20-40分钟,连铸速度150-300mm/min(即毫米/分钟),形成的铜坯直径为4-10mm(即毫米),拉丝速度为70-120m/min(即米/分钟);
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