[发明专利]一种双通道声表面波器件测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种传感器检测装置，特别是一种双通道声表面波器件测试装置。

背景技术

目前，声表面波气体传感器主要由叉指换能器，气敏薄膜，压电基底构成。传感器工作时，主要通过在压电基底上的叉指换能器，进行的由电到弹性波再到电的能量转换。当其能量处于弹性波阶段时，声表面波经过敏感薄膜时，由于敏感薄膜对气体的吸附，致使薄膜的杨氏模量，体积，电导率等发生变化，从而使弹性波的频率和器件的电阻发生变化。通过对频率或电阻变化量进行检测即可得知气体浓度的变化。

传感器的激励需要高频信号，而高频信号极易互相干扰产生无线电发射效应，因此对声表面波器件的测试需要有良好的接地和屏蔽。

发明内容

发明目的：本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种双通道声表面波器件测试装置。

为了解决上述技术问题，本发明公开了一种双通道声表面波器件测试装置，包括本体、频率计数器、稳压电源以及电压信号采集器，本体上方设有向内凹陷的容纳声表面波器件的气体反应腔以及与气体反应腔连通的进气孔和出气孔，气体反应腔上设有用于密封的上盖板；本体内设有两个信号检测位，其中一个信号检测位连接稳压电源和电压信号采集器，另一个信号检测位连接频率计数器；

一个信号检测位包括两个同轴电缆连接头以及铜套管，铜套管的顶端与气体反应腔的底面齐平，每个铜套管各自对应连接一个同轴电缆连接头，本体内铜套管与同轴电缆连接头的位置设为屏蔽腔；

连接稳压电源和电压信号采集器的信号检测位的两个同轴电缆连接头，一个连接稳压电源，另一个连接电压信号采集器；

连接频率计数器的信号检测位的两个同轴电缆连接头同时连接频率计数器；

所述电压信号采集器和频率计数器同时连接计算机。

本发明中，所述气体反应腔的底面对应声表面波器件的位置设有凹槽，凹槽内由上至下依次设有导热硅胶片，微加热板以及石棉，其中微加热板通过导线引出本体连接一温控仪。

本发明中，所述铜套管外嵌套有聚四氟乙烯套。

本发明中，所述上盖板与本体之间设有密封橡胶垫圈。

本发明中，所述气体反应腔内填充有聚四氟乙烯填充物。聚四氟乙烯填充物前后两端开有连通进气孔和出气孔的气体流向引导槽，聚四氟乙烯填充物上表面还有两个热电偶探头插入孔以及热电偶探头引线放置槽，热电偶探头引线引出连接至电压信号采集器。

本发明用于含直流信号和射频信号并且是对一定浓度气体进行测试的声表面波器件中，而且该装置还能满足器件温度加热测试需求。

本发明的测试装置具有双通道的测试功能，每个通道都含有独立的声表面波器件，可采用控制变量法，同时测得声表面波器件的两种响应，并进行对比，可对实验结果提供一个全面详尽的数据参考。

本发明的优点：1，该声表面波气体测试装置具有双通道结构，可分别对声表面波器件的质量效应和器件的电导率效应进行测量对比。2，该夹具更换器件方便且接触可靠。3，屏蔽腔设计巧妙完全适合短距离TO系列引脚信号的隔离。4，该夹具较为紧凑小巧易携带。5，夹具气腔在抽真空状态下，能保持5小时气压不变，密封性能较好。6，该夹具除加热引出线较难拆除，其余均采用螺纹和嵌套连接，更换拆除均很方便。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明做更进一步的具体说明，本发明的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。

图1为本发明总体结构示意图。

图2为测试装置剖视示意图。

图3为测试装置剖视局部放大示意图。

图4为测试装置（不带TO管座）俯视图。

图5为测试装置（带TO管座）俯视图。

具体实施方式