[发明专利]有机电致发光器件及其制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及光电子器件领域，尤其涉及有机电致发光器件及其制备方法。

背景技术

有机电致发光器件（OLED）是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。其典型结构是在ITO玻璃上制作一层几十纳米厚的有机发光材料作发光层，发光层上方有一层低功函数的金属电极。当电极上加有电压时，发光层就产生光辐射。

有机电致发光材料对氧气及水汽侵入特别敏感，一方面因为氧气是淬灭剂，会使OLED的发光量子效率显著下降，氧气对OLED的氧化作用也会使OLED的传输能力下降；另一方面，水汽对OLED的影响更显而易见，它的主要破坏方式是使对OLED的有机化合物水解，从而降低OLED的稳定性和寿命。因而，有效抑制OLED在长期工作过程中的退化和失效，以使OLED稳定工作达到足够的寿命，这对封装材料的阻隔性提出了极高的要求，而起密封保护作用的封装技术就成了解决OLED寿命问题的一个突破点。

封装技术是通过形成结构致密的阻挡层，对封装区内的核心部件实现物理保护。以无机材料(例如为氮化硅)作为有机电致发光器件的阻挡层的技术已相当成熟且广泛应用于各式显示器中。

柔性产品是有机电致发光器件的发展趋势，但目前普遍存在寿命短，其封装的好坏直接影响器件的寿命。然而，在制作柔性的机电致发光器件（亦称为可挠式机电致发光器件）的制造工艺中，由于无机材料的可挠性不佳，以致有机发光装置在经过弯曲之后，阻挡层会产生裂缝。如此一来，水汽会经由裂缝渗入而影响薄膜晶体管的电性。若以有机材料作为钝化保护层，则可拥有较佳的可挠性。然而，有机材料的阻水能力较无机材料差，因此水汽容易渗入有机发光装置而影响其电性。因此，如何提升柔性的有机电致发光器件的可靠性实为目前亟欲解决的议题之一。

发明内容

本发明的目的在于解决上述现有技术存在的问题和不足，提供一种有机电致发光器件，该有机电致发光器件为层状结构，该层状结构依次包括：阳极导电基板、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层、阴极层，以及所述阴极层上交替层叠的有机阻挡层和无机阻挡层；其中：

所述有机阻挡层的材质为硅碳氮化合物膜；

所述无机阻挡层的材质为B₂O₃:F、Al₂O₃:F、Ga₂O₃:F、In₂O₃:F或Tl₂O₃:F。

进一步地，所述硅碳氮化合物膜是使用甲基硅烷、NH₃以及H₂作为原材料并通过等离子增强化学气相沉积方法而制得的。

进一步地，所述无机阻挡层是使用三氟甲基物和水蒸气作为原材料并通过原子层沉积方法而制得的，所述三氟甲基物为B(CH₂F)₃、Al(CH₂F)₃、Ga(CH₂F)₃、In(CH₂F)₃或Tl(CH₂F)₃。

进一步地，所述有机阻挡层和所述无机阻挡层交替层叠的层数为四、五或六。

进一步地，所述有机阻挡层的厚度为100nm～150nm；所述无机阻挡层的厚度为15nm～20nm。

进一步地，所述空穴注入层的材质为由MoO₃和N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺相掺杂得的混合物，其中，MoO₃与N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺的重量百分比为0.25:1；

所述空穴传输层的材质为4,4',4''-三(咔唑-9-基)三苯胺；

所述发光层的材质为由三(2-苯基吡啶)合铱和1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯相掺杂得的混合物，其中，三(2-苯基吡啶)合铱与1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯的重量百分比为0.05:1；

所述电子传输层的材质为4,7-二苯基-1,10-菲罗啉；

所述电子注入层的材质为由CsN₃和4,7-二苯基-1,10-菲罗啉相掺杂得的混合物，其中，CsN₃与4,7-二苯基-1,10-菲罗啉的重量百分比为0.25:1；