[发明专利]用于真空蒸镀腔体的挡板驱动机构

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体制造设备，尤指一种用于真空蒸镀腔体的挡板驱动机构。

背景技术

目前，在OLED等半导体制造领域中，为了对其制造的元器件赋予某种特性，较常使用的方式是采用“蒸镀处理”工序在元器件表面沉积一层或多层薄膜。所谓“蒸镀处理”主要是通过一个用以执行蒸镀的蒸镀室，在蒸镀室内将蒸镀材料设置于蒸发舟内，当适当的电源流通至蒸发舟内后，蒸发舟因电阻效应所产生的热，加热蒸发舟内的蒸镀材料，一直到接近蒸镀材料的熔点使其产生蒸气，蒸汽能够在离蒸发源上方不远处的基板表面上进行薄膜沉积，从而完成基板件的镀膜。

在镀膜过程中常在蒸镀室和基板之间设置挡板，并通过驱动机构来控制挡板的开启和关闭，从而实现将蒸镀室和基板之间隔离。然而现有技术中多采用一根旋转轴驱动挡板旋转的方式驱动挡板，但是这种旋转的驱动方式会占用比较大的空间，并且挡板之间有可能互相碰撞，并且在有限的区域内旋转的挡板在蒸镀过程中不可避免的受到有机材料的污染。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的局限，而提供一种用于真空蒸镀腔体的挡板驱动机构，其能够占用更小的空间，更加可靠的驱动挡板。

为了达到上述目的，本发明的主要技术手段在于：提供一种用于真空蒸镀腔体的挡板驱动机构，包括支撑座以及固定架设于支撑座上的折叠伸缩杠杆，折叠伸缩杠杆的第一端连接挡板，折叠伸缩杠杆的第二端连接一驱动装置；通过驱动装置驱动折叠伸缩杠杆的第二端沿一第一方向进行直线运动，驱使折叠伸缩杠杆发生折叠伸缩，进而带动折叠伸缩杠杆的第一端连同挡板沿一与第一方向相反的第二方向发生直线运动。折叠伸缩杠杆驱动的挡板做往复直线运动，这样可以避免和其他挡板的碰撞，并且直线运动的挡板可以有更大的行程，可以避免挡板阻挡蒸发材料的蒸发路径。

本发明的进一步改进在于：所述折叠伸缩杠杆包括复数根驱动杆，所述驱动杆的两端和中点分别设置有通孔，两根驱动杆通过中点的通孔铰接形成X形驱动杆组，相邻的所述X形驱动杆组通过驱动杆两端的通孔相互铰接进行连接形成所述折叠伸缩杠杆；并且：所述折叠伸缩杠杆中的一个所述X形驱动杆组的位于中点的通孔中穿设有第一固定轴，所述折叠伸缩杠杆通过所述第一固定轴固定架设于所述支撑座上。驱动装置运动时，每个驱动杆组的长度变化相同，第一端到第一固定轴的距离和第二端到第一固定轴的距离的比值为常数，通过这个比值的特性，可以将第二端很小的位移在第一端放大成很大的位移，这样可以有效减小驱动装置需要的空间。

本发明的进一步改进在于：挡板驱动机构进一步包括一固定导轨，所述固定导轨固定架设于所述支撑座上且位于所述折叠伸缩杠杆的上方，所述固定导轨的下部沿所述折叠伸缩杠杆的直线伸缩方向开设有导轨槽；所述折叠伸缩杠杆的X形驱动杆组的位于中点的通孔中穿设有活动轴或所述第一固定轴，且所述活动轴的顶端可滑动地结合于所述导轨槽中。这样改进的益处在于：通过固定导轨对折叠伸缩杠杆进行支撑及导向，防止因为折叠伸缩杠杆重量导致的整体结构下垂和整体结构方向有所偏转。

本发明的进一步改进在于：固定导轨通过第一固定轴固定架设于支撑座，所述固定导轨还包括有第二固定轴，且所述第一固定轴与所述第二固定轴为可伸缩结构。这样通过调节第一固定轴和第二固定轴的长度可以调节固定导轨的高度和角度，同时也可以调整挡板的高度和角度。

本发明的进一步改进在于：驱动装置为一曲柄连杆机构。

附图说明

图1为本发明挡板驱动机构的第一实施例的俯视图；

图2为本发明挡板驱动机构的第一实施例的截面视图；

图3为本发明挡板驱动机构的X形驱动杆组的俯视图；

图4为本发明挡板驱动机构的第二实施例的俯视图；

图5为本发明挡板驱动机构的第二实施例的截面视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

如图1所示，本发明的挡板驱动机构主要包括一折叠伸缩杠杆10以及一驱动装置30。其中：折叠伸缩杠杆10的第一端11连接挡板40，第二端13连接驱动装置30。驱动装置30驱动第二端13沿一第一方向进行直线运动，折叠伸缩杠杆10随第二端13的运动而伸缩，于此同时和第一端11连接的挡板40沿第一方向相反的第二方向做直线运动。

参考图1和图3，折叠伸缩杠杆10由复数根驱动杆14组成，驱动杆14的两端和中点分别设置有通孔，驱动杆2根一组组成X形驱动杆组15。X形驱动杆组15的两个驱动杆14上下堆叠并且通过驱动杆14中点的通孔铰接成X形。