[发明专利]一种在五腔体全自动电子束沉积系统中使用的传输系统有效
| 申请号： | 201310563039.X | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN104630737B | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 赵科新;赵崇凌;李士军;洪克超;徐宝利;张健;张冬;王磊;李松;林峰雪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 五腔体 全自动 电子束 沉积 系统 使用 传输 | ||
【权利要求书】：
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