[发明专利]上部电极安装治具在审
| 申请号： | 201310563680.3 | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN104637851A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 黄耀乐;林志明;张永涛;廖子毅 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201508 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 上部 电极 安装 | ||
1.一种上部电极安装治具，其特征在于：所述上部电极安装治具包括一固定垫片、与所述固定垫片垂直连接的一侧板、以及复数个活动垫片，所述固定垫片相对于所述侧板的第一侧设有供放置复数个所述活动垫片的限位装置，所述活动垫片可活动地置于所述限位装置内；所述活动垫片活动至所述固定垫片相对于所述侧板的第二侧时与所述固定垫片配合以完成待安装的上部电极的定位。
2.如权利要求1所述的上部电极安装治具，其特征在于：所述侧板的上部开设有一安装孔。
3.如权利要求1或2所述的上部电极安装治具，其特征在于：所述侧板的下部对应所述活动垫片开设有一通孔，推抵所述活动垫片穿设所述通孔，使所述活动垫片活动至所述固定垫片的第二侧。
4.如权利要求3所述的上部电极安装治具，其特征在于：所述限位装置为一外框结构，所述外框结构包括两个相对设置的侧壁以及连接两个所述侧壁的顶板，两个所述侧壁的内侧设有相对应的复数对凹槽，所述活动垫片可活动地插设于所述凹槽内。
5.如权利要求1所述的上部电极安装治具，其特征在于：所述限位装置为一圆柱结构，所述活动垫片的一角通过一折边连接有一圆环，所述圆环套设于所述圆柱结构，所述活动垫片可绕所述圆柱结构旋转置于所述固定垫片的第二侧。
6.如权利要求1所述的上部电极安装治具，其特征在于：所述上部电极安装治具的材料为塑料。
7.如权利要求1所述的上部电极安装治具，其特征在于：所述上部电极安装治具的材料为聚四氟乙烯。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
