[发明专利]一种激光抗损伤测试系统

说明书

技术领域：

本发明涉及一种激光测试系统，尤其是一种激光抗损伤测试系统。

背景技术：

近些年来，由于激光器的巨大发展，其逐渐应用于越来越多的领域，其中高功率的激光器尤其得到了广泛的应用。在激光器中，由于光束的高能量经常会导致系统内部的元件，如谐振腔镜、透镜、分光镜等光学元件被破坏，由于通常激光器系统中会存在大量的光学器件，其中每个元件都会激光的产生和运转有密切联系，当其中任何一个部件发生损伤时，会导致激光器光束质量下降，输出功率下降，甚至导致激光器不能运转。在一些应用领域，如激光打标焊接扫描等，当激光器的输出功率过大时，会被对加工的样品产生破坏，因此也需要对工件的激光损伤情况进行监测，以确定合适的功率范围来进行高效加工。现有技术中，对于激光损伤存在几种方法，如透射法，其通过测量透过光，来判断被测样品表面的损伤情况；散射法，其通过激光照射于样品表面产生的散射光，来判断被测样品表面的损伤情况；光热法，由于激光作用产生被测样品的结构和性能发生变化，通过测量其光热信号，来判断被测样品的损伤。

在现有的抗损伤测试装置中，通常都通过对样片表面施加一定功率，判断其是否构成损伤，但是通常功率不能变化，判断方式单一，导致对样品的抗损伤情况不能有效地精确判断。

发明内容：

为了实现精确判断阈值以及抗损伤情况，本发明提出了一种激光抗损伤系统，其采用功率调节部件，改变入射到样品的功率。通过电控变焦系统，以及能量计光电探测器等，实时测量。实现了对被测样品阈值的抗损伤情况，以及破坏阈值的精确判断。

本发明所采用的技术方案如下：

一种激光抗损伤测试系统，其包括：脉冲激光器1、第一挡光板2、第一偏振片3、第一1/2波片4、第一电控旋转台5、第二挡光板6、第二偏振片7、指示光源8、电控变焦系统9、第一45°部分反射镜10、CCD光斑分析仪11、第二45°部分反射镜12、能量计13、光电探测器14、放样室15、监控摄像头16、第三挡光板17、控制系统18；

各部件之间的连接关系为：

沿光轴方向，以下部件依次排布：脉冲激光器1、第一偏振片3、1/2波片4、第二偏振片7、电控变焦系统9、第一45°部分反射镜10、第二45°部分反射镜12、放样室15、监控摄像头16、第三挡光板17；

第一电控旋转台5控制第一1/2波片4的旋转角度；

第一挡光板2和第二挡光板6分别位于第一偏振片3和第二偏振片7的一侧；

指示光源8发出的光入射到第二偏振片7后被反射到电控变焦系统9；

被第一45°部分反射镜10反射的光入射到CCD光斑分析仪11上；

被第二45°部分反射镜12反射的光入射到能量计13上；

光电探测器14探测检测激光的脉冲宽度；

监控摄像头16对样品室进行监控；

控制系统18与电控旋转台5、指示光源8、电控变焦系统9、CCD光斑分析仪11、能量计13、光电探测器14以及监控摄像头16相连，对以上部件进行控制。

附图说明：

图1：激光抗损伤测试系统结构图

图中：1.脉冲激光器  2.第一挡光板  3.第一偏振片  4.1/2波片  5.电控旋转台6.第二挡光板  7.第二偏振片  8.指示光源  9.电控变焦系统  10.第一45°部分反射镜11.CCD光斑分析仪  12.第二45°部分反射镜  13.能量计  14.光电探测器  15.放样室16.监控摄像头  17.第三挡光板  18.控制系统

具体实施方式：

实施例1：

激光抗损伤测试系统包括：脉冲激光器1、第一挡光板2、第一偏振片3、第一1/2波片4、第一电控旋转台5、第二挡光板6、第二偏振片7、指示光源8、电控变焦系统9、第一45°部分反射镜10、CCD光斑分析仪11、第二45°部分反射镜12、能量计13、光电探测器14、放样室15、监控摄像头16、第三挡光板17、控制系统18.

各部件之间的连接关系为：

沿光轴方向，以下部件依次排布：脉冲激光器1、第一偏振片3、1/2波片4、第二偏振片7、电控变焦系统9、第一45°部分反射镜10、第二45°部分反射镜12、放样室15、监控摄像头16、第三挡光板17；

第一电控旋转台5控制第一1/2波片4的旋转角度；

第一挡光板2和第二挡光板6分别位于第一偏振片3和第二偏振片7的一侧；

指示光源8发出的光入射到第二偏振片7被反射后，与激光同光路传输，一直到放样室15，起到指示作用；