[发明专利]一种多晶硅铸锭炉热场结构

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉热场结构，包括炉体（1），炉体（1）上设置有抽气孔（2），所述炉体（1）内设置有下托保温板（3）与保温罩（4），保温罩（4）放置在下托保温板（3）上，保温罩（4）与下托保温板（3）共同构成保温隔热笼，所述保温罩（4）上连接有能够使保温罩（4）上下移动的升降杆（5），所述保温隔热笼内设置有坩埚（6）、坩埚护板（7）、石墨底板（8）、石墨盖板（9）、侧部加热器（10）、顶部加热器（11）、热交换平台（12），所述石墨底板（8）放置在热交换平台（12）上，坩埚（6）放置在石墨底板（8）上，坩埚护板（7）设置在坩埚（6）外侧，侧部加热器（10）设置在坩埚护板（7）的外侧，石墨盖板（9）设置在坩埚（6）上方，顶部加热器（11）设置在石墨盖板（9）上方，所述热交换平台（12）通过石墨立柱（22）固定在炉体（1）底部，坩埚护板（7）的上端设置有尾气排放孔（13），还包括进气管（14），所述进气管（14）依次穿过炉体（1）、保温罩（4）、顶部加热器（11）、石墨盖板（9）后伸入坩埚（6）内，其特征在于：所述坩埚护板（7）包括上护板（71）与下护板（72），上护板（71）与下护板（72）拼接在一起。

2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于：所述下护板（72）的高度与铺设在坩埚（6）底部的子晶厚度一致。

3.如权利要求2所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于：所述下护板（72）的上端面设置有凹槽，在上护板（71）的下端面设置有与凹槽相匹配的凸起。

4.根据权利要求1至3中任意一项权利要求所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于：所述石墨盖板（9）上设置有多个通孔（17）。

5.如权利要求4所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于：所述炉体（1）底部安装有溢流毯（18），所述溢流毯（18）为四层结构，从上到下依次为针织陶瓷纤维毯层、针织陶瓷纤维毯层、陶瓷纤维毯层、碳毡层，所述针织陶瓷纤维毯层的厚度为10mm、针织陶瓷纤维毯层的厚度为10mm、陶瓷纤维毯层的厚度为25mm、碳毡层的厚度为10mm。

6.如权利要求5所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于：所述溢流毯（18）的上表面安装有溢流丝（19）。

7.如权利要求6所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于：在相邻的石墨立柱（22）之间均设置有溢流丝（19）。

8.如权利要求7所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于：所述下托保温板（3）上设置有多个溢流孔（20）。