[发明专利]一种铜铟镓硒四元半导体合金的制备方法有效
申请号: | 201310564384.5 | 申请日: | 2013-11-12 |
公开(公告)号: | CN103572089A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | 崔勇;熊良银;葛鹏;李明群;王雪松;刘实 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属研究所 |
主分类号: | C22C1/10 | 分类号: | C22C1/10;C22C30/02;H01L31/18 |
代理公司: | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人: | 张晨 |
地址: | 110015 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 铜铟镓硒四元 半导体 合金 制备 方法 | ||
1.一种铜铟镓硒四元半导体合金的制备方法,其特征在于,具体步骤如下:
将装有铜、铟、镓三种原料的石英坩埚放入真空感应炉中;对真空感应炉抽真空,之后通入氩气,感应炉的真空度为20-30mmHg,然后逐渐升温到500-700℃,铜、铟、镓三种金属逐渐熔化,随后升温到900-1100℃,熔炼10-30min,随炉冷却,得到铜铟镓三元合金;
将炼制好的铜铟镓三元合金与硒粉分别装入石英管的两端,抽真空,将石英管封管;采用管式炉对装有铜铟镓三元合金一端的石英管从室温加热到850-950℃;同时用管式炉对石英管另一端装有硒粉的部分加热,从室温加热到300-330℃,保温0-20min;然后加热到500℃保温1-20h;500℃加热到750℃;当硒粉一端温度达到750℃时,将铜铟镓三元合金一端的温度降到750℃,使铜铟镓与硒在750℃下反应5-60小时;关闭管式炉,停止加热,冷却到室温,得到铜铟镓硒固体样品。
2.按照权利要求1所述铜铟镓硒四元半导体合金的制备方法,其特征在于,具体步骤如下:
称取570克金属铜,805克金属铟,210克金属镓,放入石英坩埚之中,对真空感应炉抽真空,之后通入氩气,感应炉的真空度在30mmHg,之后逐渐升温到500℃,铜、铟、镓三种金属逐渐熔化,随后升温到1000℃,熔炼10min,随炉冷却,得到铜铟镓三元合金;
将炼制好的1583克铜铟镓三元合金与1800克硒粉分别装入石英管的两端,抽真空,将石英管封管;采用管式炉对装有铜铟镓三元合金一端的石英管从室温加热到900℃;同时用管式炉对石英管另一端装有硒的部分加热,从室温加热到300℃,保温20min;300℃到500℃保温12h;500℃加热到750℃;当硒粉一端温度达到750℃时,将铜铟镓三元合金一端的温度降到750℃,使铜铟镓与硒在750℃下反应7小时;关闭管式炉,停止加热,冷却到室温,得到铜铟镓硒固体样品。
3.按照权利要求1或2所述铜铟镓硒四元半导体合金的制备方法,其特征在于,所述铜铟镓硒四元半导体合金的组成为质量份数比:
铜:18-25
铟:20-30
镓:0-15
硒:48-55
其中镓的质量份数不能等于0。
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