[发明专利]SF6分解产物的傅里叶红外光谱分析方法

权利要求书

1.一种SF₆分解产物的傅里叶红外光谱分析方法，其特征在于，包括以下步骤：

将样气引入傅里叶红外光谱分光光度计内的吸收腔室进行傅里叶红外光谱分析，分析参数为：检测器：光电导检测器；压力平衡：0.1±0.01mbar；冷媒：液态氮400±1mL，温度为-196±1℃。

2.如权利要求1所述的SF₆分解产物的傅里叶红外光谱分析方法，其特征在于，所述分析参数为：检测器：光电导检测器；压力平衡：0.1mbar；冷媒：液态氮400mL，温度为-196℃。

3.根据权利要求1所述的SF₆分解产物的傅里叶红外光谱分析方法，其特征在于，所述傅里叶红外光谱分光光度计内设置有红外光源，所述吸收腔室的侧壁设有第一KBr窗口及第二KBr窗口，所述红外光源、第一KBr窗口、第二KBr窗口位于同一直线上。

4.根据权利要求3所述的SF₆分解产物的傅里叶红外光谱分析方法，其特征在于，所述直线相对于所述第一KBr窗口所在平面、第二KBr窗口所在平面垂直。

5.根据权利要求3或4所述的SF₆分解产物的傅里叶红外光谱分析方法，其特征在于，所述红外光源在所述第一KBr窗口及第二KBr窗口之间的光路长度为10-12cm。

6.根据权利要求3或4所述的SF₆分解产物的傅里叶红外光谱分析方法，其特征在于，所述吸收腔室的长度为10-12cm。

7.根据权利要求6所述的SF₆分解产物的傅里叶红外光谱分析方法，其特征在于，所述吸收腔室的长度为10cm。

8.根据权利要求3或4所述的SF₆分解产物的傅里叶红外光谱分析方法，其特征在于，所述吸收腔室用不锈钢制成。

9.根据权利要求1所述的SF₆分解产物的傅里叶红外光谱分析方法，其特征在于，所述傅里叶红外光谱分析过程采用最大吸收波长分析目标化合物，目标化合物与最大吸收波长的对应关系为：SO₂：491cm^-1，494cm^-1，497cm^-1，500cm^-1，503cm^-1，506cm^-1；SOF₂：530cm^-1，808cm^-1；SO₂F₂：539cm^-1，544cm^-1，552cm^-1；SOF₄：570cm^-1，752cm^-1；SF₄：532cm^-1，730cm^-1；CF₄：1283cm^-1，2186cm^-1；HF：3644cm^-1，3693cm^-1。