[发明专利]微小孔径工件内壁的光学检测系统无效
| 申请号： | 201310569439.1 | 申请日： | 2013-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103575748A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 游睿;沈立成;姚瑶;李超;陈欣 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113 | 代理人： | 陈志良 |
| 地址： | 200030 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微小 孔径 工件 内壁 光学 检测 系统 | ||
1.一种微小孔径工件内壁的光学检测系统，其特征在于：所述的检测系统包括面阵CCD摄像机（1）、远心镜头（2）、同轴光源（3）、被测工件（4）、球形反射镜（5）、反射镜支架（6）、精密竖直位移平台（7）、精密水平位移平台（8）、光学支架（9）和计算机（10）；将远心镜头（2）与CCD摄像机（1）前段镜头装配起来，并与同轴光源（3）、被测工件（4）按照从上到下的顺序，依次固定在光学支架（8）之上，并调节光学支架位置，使镜头轴心与被测工件轴心在同一竖直轴线上，将球形反射镜（5）放置并固定于反射镜支架（6）上，并将反射镜支架（6）水平固定于精密竖直位移平台（7）上，精密竖直位移平台（7）和精密水平位移平台（8）组合使用，实现球形反射镜（5）所在空间位置的精密调节，调节精密竖直位移平台（7）的高度，使球形反射镜（5）从被测工件（4）的底部深入工件孔内部，并调整精密水平位移平台，使球形反射镜的中心位于被测工件竖直轴心上，将CCD摄像机（1）通过千兆网线与计算机（10）相连。
2.根据权利要求 1 所述的微小孔径工件内壁的光学检测系统，其特征在于：所述的球形反射镜（5）是在高精度透镜球表面镀上一层高反射率金属薄膜制成，其球形误差和直径变动量均不超过0.5μm。
3.根据权利要求 1 所述的微小孔径工件内壁的光学检测系统，其特征在于：所述的球形反射镜（5）在球的上半部分水平切除一小块平面并将切面涂黑，以用作检测获取球形反射镜（5）的圆心。
4.根据权利要求 1 所述的微小孔径工件内壁的光学检测系统，其特征在于：所述被测工件（4）上的工件孔的孔径不大于3.5mm。
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