[发明专利]溅镀靶、透明导电膜及其制造方法，以及触控面板

说明书

技术领域

本发明涉及一种溅镀材料，尤其涉及一种溅镀靶，还涉及使用所述溅镀靶成膜的透明导电膜及其制造方法，以及具有所述溅镀靶所制成之感测层的触控面板。

背景技术

触控面板(Touch Panel)已大量运用于消费、通讯、计算机等电子产品上，例如目前广泛使用的游戏机、智能手机、平板计算机等，作为众多电子产品的输入接口。这些电子产品的显示部分一般都是由触控面板与显示面板整合而成，可供使用者用手指或触控笔依照显示画面上的功能选项点选输入所要执行的动作，藉此可在无需其它传统类型的输入设备(如，按钮、键盘、或操作杆)操作下进行输入，大幅提高了输入的便利性。

目前常采用的触控面板大多以氧化铟锡(Indium Tin Oxide，ITO)作为其电极材料。ITO是一种铟氧化物（In2O3）和锡氧化物（SnO2）的混合氧化物，因In在自然界的存量很少，使得ITO生产成本很高。

有鉴于此，目前需针对现有的电极材料进行改善，研发一种具有与ITO相当的导电性能，且价格更为低廉的电极材料。

发明内容

本发明使用氧化锌铝(Aluminum-doped Zinc Oxide，AZO)做为主成分，并且掺杂杂原子来降低电子激发能以制成溅镀靶。此外，使用所述的溅镀靶来制作得以应用于触控面板的透明导电膜。

本发明提供一种溅镀靶，其特征在于，为掺杂杂原子之氧化锌铝所成的溅镀靶，其中所述杂原子为第2族元素、第5族元素、第10族元素或上述之组合，且所述杂原子之掺杂比例为0.5重量%至20重量%。

本发明更提供一种透明导电膜的制造方法，其特征在于，使用上述之溅镀靶，并在一基板上沉积形成薄膜。

本发明又提供一种触控面板，包括一基板；一感测层，为使用上述之溅镀靶沉积于该基板上并经蚀刻所制得者；以及复数条导线，设于所述基板上，且电性连接所述感测层。

本发明提供的掺杂杂原子的氧化锌铝之材料、由所述材料制成的透明导电膜以及由所述导电膜制程的触控面具有良好的透光度、导电性能及高电阻温度系数，提高了应用于触控面板时对温度变化的反应敏感性，增加在触控领域的应用范围，并且制备过程简单，价格相对低廉，可作为一种良好的ITO替代材料来制成透明导电膜并应用于触控面板。

为让本发明之上述和其它目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举出较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

图1是根据本发明实施例所绘制之触控面板之上视图；

图2是根据本发明第一实施例沿图1线段I-I所绘制之触控面板的剖面图；

图3是根据本发明第二实施例沿图1线段I-I所绘制之触控面板的剖面图；

图4是掺杂镁之氧化锌铝膜之温度系数分析图；

图5是掺杂镁之氧化锌铝膜于触碰后之电阻变化图；

图6是掺杂镁之氧化锌铝膜之透光率分析图；

图7是掺杂镍之氧化锌铝膜于触碰后之电阻变化图；

图8是掺杂镍之氧化锌铝膜之透光率分析图；

图9是掺杂钒之氧化锌铝膜之透光率分析图。

具体实施方式

以下针对本发明之溅镀靶、透明导电膜及以透明导电膜的制造方法与实际制成之触控面板作详细说明。应了解的是，以下之叙述提供许多不同的实施例或例子，用以实施本发明之不同样态。以下所述特定的组件及排列方式尽为方便描述本发明。当然，这些仅用以举例而非本发明之限定。此外，在不同实施例中可能使用重复的标号或标示。这些重复仅为了简单清楚地叙述本发明，不代表所讨论之不同实施例及/或结构之间具有任何关连性。再者，当述及一第一材料层位于一第二材料层上或之上时，包括第一材料层与第二材料层直接接触之情形。或者，亦可能间隔有一或更多其它材料层之情形，在此情形中，第一材料层与第二材料层之间可能不直接接触。

此外，「约」、「大约」之用语通常表示在一给定值或范围的20%之内，较佳是10%之内，且更佳是5%之内。在此给定的数量为大约的数量，表示在没有特定说明的情况下，其可隐含「约」、「大约」之用语。