[发明专利]铸锭炉及控制类单晶铸造过程中籽晶保留高度的方法

权利要求书

1.一种铸锭炉，包括：

侧部隔热层（60）；

底部隔热层（90），呈环状，所述环状的内环位置设置有百叶窗（40），所述底部隔热层（90）与所述侧部隔热层（60）共同围成一个腔体；

坩埚（50），设置在所述腔体内；

隔热挡板（70），设置在所述底部隔热层（90）与所述侧部隔热层（60）相接处，且朝向所述腔体的中心延伸，

顶部测温点（51），设置在所述侧部隔热层（60）与所述坩埚（50）之间，且位于所述腔体的顶部的1/4～1/5处，

其特征在于，所述隔热挡板（70）的位置是可调整的，以调整所述铸锭炉内热场的高温区和低温区的空间分布。

2.一种控制类单晶铸锭过程中籽晶保留高度的方法，其特征在于，包括采用如权利要求1所述的铸锭炉进行类单晶的铸锭，并通过调整铸锭炉热场内隔热挡板（70）的位置调整高温区和低温区的空间分布。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步：维持所述顶部测温点（51）温度为1135℃～1175℃，所述百叶窗（40）呈关闭状态，所述隔热挡板（70）的位置为原始位置，时间为60～120分钟；

第二步，所述顶部测温点（51）温度升至1480℃～1510℃，所述百叶窗（40）呈关闭状态，所述隔热挡板（70）位置为原始位置，时间为180～300分钟；

第三步，在30～60分钟内，所述顶部测温点（51）温度升至1520℃～1550℃，所述隔热挡板（70）位置上升3～7厘米；

第四步：维持所述第三步最终状态不变270～330分钟；

第五步：在30～60分钟内，所述顶部测温点（51）温度降至1495～1505℃，所述隔热挡板（70）的位置在所述第三步的基础上再上升8～12厘米；

第六步：维持所述第五步最终状态不变直至熔化段结束。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步：维持顶部测温点（51）温度为1145℃～1155℃，所述百叶窗（40）呈关闭状态，所述隔热挡板（70）的位置为原始位置，时间为60～90分钟；

第二步，所述顶部测温点（51）温度升至1495℃～1505℃，所述百叶窗（40）呈关闭状态，所述隔热挡板（70）位置为原始位置，时间为190～230分钟；

第三步，在30～40分钟内，所述顶部测温点（51）温度升至1520℃～1530℃，所述隔热挡板（70）位置上升4.5～5.5厘米；

第四步：维持所述第三步最终状态不变280～320分钟；

第五步：在30～60分钟内，所述顶部测温点（51）温度降至1495～1505℃，所述隔热挡板（70）的位置在所述第三步的基础上再上升9.5～10.5厘米；

第六步：维持所述第五步最终状态不变直至熔化段结束。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步：维持顶部测温点（51）温度为1150℃，所述百叶窗（40）呈关闭状态，所述隔热挡板（70）的位置为原始位置，时间为90分钟；

第二步，所述顶部测温点（51）温度升至1500℃，所述百叶窗（40）呈关闭状态，所述隔热挡板（70）位置为原始位置，时间为210分钟；

第三步，在30～60分钟内，所述顶部测温点（51）温度升至1525℃，所述隔热挡板（70）位置上升5厘米，时间为30分钟；

第四步：维持所述第三步最终状态不变300分钟；

第五步：在30～60分钟内，所述顶部测温点（51）温度降至1500℃，所述隔热挡板（70）的位置在所述第三步的基础上再上升10厘米；

第六步：维持所述第五步最终状态不变直至熔化段结束。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的方法，其特征在于，所述第一步进一步包括：通过所述铸锭炉的真空泵将硅料表面挥发出的杂质排出。