[发明专利]一种3D-MEMS光开关

权利要求书

1.一种三维微机电系统3D-MEMS光开关，包括输入端准直器阵列，输入端MEMS微镜，输出端MEMS微镜，输出端准直器阵列，其特征在于，还包括：楔方棱镜，分光三角棱镜，输入端功率检测PD阵列，输出端PD阵列和核心光开关控制器；

所述楔方棱镜置于所述输入端准直器阵列和输入端MEMS微镜之间，用于对来自所述输入端准直器阵列的输入光信号分成两路光信号，将一路光信号透射到所述输入端MEMS微镜，将另一路光信号反射到所述输入端PD阵列；

所述输入端PD阵列，用于检测所述楔方棱镜反射的输入光信号的光功率；

所述输出端MEMS微镜，用于将来自所述输入端MEMS微镜的光信号反射到所述分光三角棱镜；

所述分光三角棱镜置于所述输出端MEMS微镜和所述输出端准直器阵列之间，用于对来自所述输出端MEMS微镜的输出光信号分成两路光信号，将一路光信号透射到所述输出端准直器阵列，将另一路光信号反射到所述输出端PD阵列；

所述输出端PD阵列，用于检测所述分光三角棱镜反射的输出光信号的光功率；

所述核心光开关控制器，用于根据所述输入端PD阵列检测到的输入光信号的光功率和所述输出端PD阵列检测到的输出光信号的光功率，判断是否需要调整所述输入端MEMS微镜和所述输出端MEMS微镜中的至少一个，若需要调整所述输入端MEMS微镜和所述输出端MEMS微镜中的至少一个，则调整所述输入端MEMS微镜和所述输出端MEMS微镜中的至少一个。

2.如权利要求1所述的所述的3D-MEMS光开关，其特征在于，所述楔方棱镜包含两个镀膜面，两个镀膜面平行，并与所述楔方棱镜上水平面成45度角，一个镀膜面镀部分反射膜，另一个镀膜面镀高反膜；

所述部分反射膜用于对来自所述输入端准直器阵列的输入光信号分成两路光信号，将一路光信号透射到所述输入端MEMS微镜，将另一路光信号反射到所述高反膜；

所述高反膜用于将所述部分反射膜反射的光信号反射到所述输入端PD阵列。

3.如权利要求1所述的所述的3D-MEMS光开关，其特征在于，所述分光三角棱镜包含两个镀膜面，两个镀膜面互相垂直，一个镀膜面镀部分反射膜，并与所述分光三角棱镜底面成45度角，另一个镀膜面镀高反膜，并与所述楔方棱镜底面成45度角；

所述部分反射膜用于对来自所述输出端MEMS微镜的输出光信号分成两路光信号，将一路光信号透射到所述输出端准直器阵列，将另一路光信号反射到所述高反膜；

所述高反膜用于将所述部分反射膜反射的光信号反射到PD阵列。

4.如权利要求1至3任一所述的3D-MEMS光开关，其特征在于，所述楔方棱镜固定在所述输入端准直器阵列上，或通过支架固定在所述输入端准直器与所述输入端MEMS微镜之间的光路上。

5.如权利要求1至4任一所述的3D-MEMS光开关，其特征在于，所述分光三角棱镜固定在所述输出端准直器阵列上，或通过支架固定在所述输出端准直器与输出端MEMS微镜之间的光路上。

6.如权利要求1至5任一项所述的3D-MEMS微镜，其特征在于，所述楔方棱镜为一整块，或由覆盖一路输入端准直器的小楔方棱镜阵列组成。

7.如权利要求1至6任一项所述的3D-MEMS微镜，其特征在于，所述分光三角棱镜为为一整块，或由覆盖一路输出端准直器的小分光三角棱镜阵列组成。

8.如权利要求1至7任一项所述的3D-MEMS光开关，其特征在于，

所述输入端准直器阵列所在平面与所述输出端准直器阵列所在平面互相平行；

所述输入端PD阵列所在平面与所述输出端PD阵列所在平面互相平行；

所述输入端MEMS微镜所在平面与所述输出端MEMS微镜所在平面互相平行。