[发明专利]光学隔离系统及光学隔离器有效
申请号: | 201310576715.7 | 申请日: | 2013-11-15 |
公开(公告)号: | CN103567631A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | 肖磊;龚成万;赵建涛;杨锦彬;宁艳华;高云峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族激光科技股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/064 | 分类号: | B23K26/064;G02B27/28 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 隔离 系统 隔离器 | ||
1.一种光学隔离系统,用于隔离激光器的反射激光,其特征在于,包括:
偏振分光镜,用于接收偏振方向与入射面垂直的P偏振光,所述偏振分光镜可使所述P偏振光透射;
第一半波片,设于所述偏振分光镜的一侧,所述第一半波片可与所述P偏振光的光路垂直,使所述P偏振光的偏振方向旋转45度;
90度相位延迟镜,设于所述第一半波片远离所述偏振分光镜的一侧,所述90度相位延迟镜与所述第一半波片呈45度夹角,所述90度相位延迟镜用于以45度入射角接收来自所述第一半波片的P偏振光,并将所述来自第一半波片的P偏振光形成圆偏振光,所述圆偏振光用于对工件进行加工,所述工件可反射所述圆偏振光,所述圆偏振光可以45度入射角入射所述90度相位延迟镜,所述90度相位延迟镜可将所述圆偏振光转换为线偏振光,所述线偏振光经所述90度相位延迟镜反射到所述第一半波片上,所述第一半波片可将所述线偏振光转换成S偏振光,所述偏振分光镜可接收所述S偏振光,并以45度反射出;
光束吸收器,设于所述偏振分光镜的一侧,所述S偏振光可入射到所述光束吸收器内,所述光束吸收器用于接收所述S偏振光。
2.根据权利要求1所述的光学隔离系统,其特征在于,所述光束吸收器包括:
吸收壳,为圆柱形腔体;及
圆锥体,收容于所述吸收壳的底部内,所述圆锥体的直径与所述吸收壳的直径相等,所述S偏振光可进入所述吸收壳内,在所述吸收壳的内壁与圆锥体的外侧壁之间发生反射,并被吸收。
3.根据权利要求1所述的光学隔离系统,其特征在于,还包括偏振模块,所述偏振模块位于所述偏振分光镜远离所述第一半波片的一侧,所述偏振模块可设于所述激光器的出光口处,所述偏振模块用于接收所述激光器发出的入射激光,并将所述入射激光转换为所述P偏振光,所述偏振模块包括:
双折射晶体,可与所述激光器的出光口相对设置,所述入射激光可从所述双折射晶体的一侧射入,经所述双折射晶体分解为第一P偏振光及S偏振光;
第二半波片,设于所述双折射晶体的一侧,且所述第二半波片与所述入射激光同轴,所述第二半波片的主截面与所述S偏振光的振动面之间的夹角为45度,所述第二半波片使所述S偏振光转换为第二P偏振光;
合束整形透镜组,设于所述第二半波片远离所述双折射晶体的一侧,所述第一P偏振光及所述第二P偏振光从所述合束整形透镜组的一侧射入,所述合束整形透镜组使所述第一P偏振光及所述第二P偏振光整形成一束所述P偏振光;
其中,所述双折射晶体、所述合束整形透镜组的光轴位于同一直线上。
4.根据权利要求3所述的光学隔离系统,其特征在于,所述合束整形透镜组包括平凸透镜及平凹透镜,所述平凸透镜的焦点与所述平凹透镜的焦点重合,且所述平凸透镜与平凹透镜重合的焦点位于所述平凸透镜及所述平凹透镜之间。
5.根据权利要求4所述的光学隔离系统,其特征在于,所述平凸透镜的焦距为100mm,厚度为3mm,所述平凹透镜的焦距为20mm,厚度为3mm,所述平凸透镜与所述平凹透镜之间的距离为117mm。
6.根据权利要求1所述的光学隔离系统,其特征在于,还包括前置半波片,所述前置半波片位于所述偏振分光镜远离所述第一半波片的一侧,所述前置半波片可位于所述激光器的出光口处,所述前置半波片用于接收所述激光器发出的入射线偏振光,并可将所述入射线偏振光旋转成所述P偏振光。
7.根据权利要求1所述的光学隔离系统,其特征在于,还包括零度相位延迟镜,所述零度相位延迟镜与所述90度相位延迟镜相对平行设置,所述零度相位延迟镜可将所述圆偏振光以45度反射角反射出,经所述零度相位延迟镜反射的圆偏振光的传播方向与所述P偏振光的传播方向平行。
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