[发明专利]压力检测单元及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及压力检测单元，特别是涉及具备内置了可改写的非易失性存储器的压力检测元件的压力检测单元及其制造方法。

背景技术

以往，作为压力检测单元，例如，有专利文献1所公开的压力检测单元。如图3所示，作为专利文献1所记载的压力检测单元的压力传感器800，分别在不锈钢制的基座801和膜片803之间形成有受压空间831，由半导体构成的压力检测元件841以配置在该受压空间831内的方式设于基座801。而且，压力传感器800在膜片803与流管连接部件802之间形成有加压空间821。

该压力传感器800中，经由流体导入管811，流体的压力被导入到加压空间821而传递到膜片803。该膜片803极其薄，所以几乎不会产生压力损失，经由受压空间831内的油向压力检测元件841传递压力。而且，压力检测元件841检测传递来的压力，将压力信号经由导线脚843、基板845、连接器846以及导线847输出至外部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012－68105号公报

发明内容

这样的压力传感器800中所使用的压力检测元件841除了包含压电元件等构成的压力检测部之外，例如还内置有非易失性存储器（例如，EPROM等），该非易失性存储器写入用于调整为施加了规定范围的压力时输出所希望的电压范围（作为一个例子，压力范围为0～5MPa时输出0.5V～4.5V的电压等）的调整参数。如下进行压力传感器800的制造（包含输出调整）。

制造压力传感器800时，压力检测元件841被安装于基座801之后，电源端子、接地端子、输出端子以及用于非易失性存储器的写入的多个存储器写入控制端子通过接合引线850连接于导线脚843的一端。这些导线脚843贯通基座801而设置，通过密封材料844而固定于基座801并且对与基座801之间进行绝缘及密封。导线脚843的另一端安装于基板845。而且，导线脚843中，与压力检测元件841的电源端子、接地端子以及输出端子电连接的导线脚843经由基板845上的布线图案（未图示）以及连接器846，由导线847引出至压力传感器800的外部。

接下来，在基座801焊接膜片803而相互接合，在由此形成的受压空间831中填充并封入油。之后，在膜片803施加规定范围的压力，以此时的压力检测元件841的输出值处于规定的输出范围的方式进行输出调整。然后，在与压力检测元件841的存储器写入控制端子连接的导线脚843上连接调整参数写入装置，向非易失性存储器写入调整参数，从而完成压力检测元件841的输出调整。

然而，作为这样的压力传感器800的评价试验的一项，进行了施加脉冲噪声、突发噪声等高频噪声试验的结果，存在若在压力传感器800的导线847施加这样的高频噪声，则有时写入压力检测元件841的非易失性存储器的调整参数（即，信息）的一部分或者全部消失这样的问题。

本发明者们对上述的问题的原因专心研究的结果，查明了以下内容。即，若在导线847施加高频噪声，则该高频噪声依次从（1）导线847流向连接器846、基板845、（2）导线脚843、（3）接合引线850、（4）压力检测元件841的电源端子等、（5）压力检测元件841的存储器写入控制端子、（6）接合引线850、（7）导线脚843，而且，因作为绝缘体的密封材料844的寄生电容，在导线脚843和基座801之间存在虚拟的电容器，从导线脚843流向基座801，由此，非易失性存储器的电荷消失而调整参数的一部分或者全部消失。判明了上述高频噪声流向全部的端子，然而在压力检测元件841的多个存储器写入控制端子中，特别是，从在非易失性存储器的写入时输入规定的存储器写入电压的端子流出高频噪声，因而参数的一部分或者全部消失。

因此，本发明以解决上述课题为目的。即，本发明的目的在于，提供能够抑制在进行了高频噪声试验的情况下写入压力检测元件的非易失性存储器的信息的一部分或者全部消失的问题的压力检测单元及其制造方法。