[发明专利]一种微型电阻型湿度传感器芯片及其传感器制备方法

权利要求书

1.一种微型电阻型湿度传感器芯片，包括敏感电极及涂布在其上的敏感料，其特征在于：所述敏感电极及涂布在其上的敏感料是在以玻璃为基底的。 

2.根据权利要求1所述的微型电阻型湿度传感器芯片，其制备方法是在于采用如下微电子加工工艺形成的： 

（1）玻璃基片备片 

（2）一次光刻形成电极图形 

（3）溅射铬／金，剥离形成敏感电极 

（4）管芯划片 

（5）敏感料精密点样 

（6）裂片，即得到带有敏感电极玻璃芯片 。

3.微型电阻型湿度传感器，采用权利要求1所述的传感器芯片。 

4.权利要求3所述的微型电阻型湿度传感器，其制备工艺如下： 

（1）所述传感器玻璃芯片粘片 

（2）金丝球压焊 

（3）封管壳 。