[发明专利]一种凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法

权利要求书

1.一种凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法，其特征是，该方法的制备工艺如下：

（1）将有机单体和交联剂加入有机溶剂配置成预混液，然后将预混液、分散剂和AlN陶瓷粉体混合球磨；球料比为0.5:1～3:1，有机溶剂的加入量为AlN陶瓷粉末重量的20%～100%，球磨时间为2～50h；所述有机单体是丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、山梨醇聚缩水甘油醚或海茵环氧树脂，所述交联剂为N,N’-亚甲基双丙烯酰胺，所述有机溶剂为醇类，所述分散剂是聚甲基丙烯酸铵、PEI、磷酸酯或聚丙烯酸铵；

（2）在得到的浆料中加入增塑剂，以增加AlN薄片的柔韧性，然后进行二次球磨；球磨时间为4h～30h；

（3）将二次球磨得到的浆料进行真空除泡，同时加入引发剂加以搅拌，搅拌速度为30～100转/min，真空脱泡时间为5～30min；

（4）将真空除泡得到的浆料进行流延操作；

（5）薄片在固化一定时间后具有一定强度和韧性，然后进行干燥处理；坯体干燥到一定程度后，将坯体薄片从流延薄膜上剥离，然后进行切割和打孔，得到AlN陶瓷坯片。

2.如权利要求1所述的凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法，其特征是，步骤（1）中，对于厚度小于等于1.5mm的氮化铝生坯基片，有机单体和交联剂的总加入量为AlN粉体重量的1%～5%，有机单体与交联剂的质量比为10:1～30:1，分散剂的加入量为AlN陶瓷粉体重量的0.1%～1%；对于厚度大于1.5mm的氮化铝生坯基片，有机单体和交联剂的总加入量为AlN粉体重量的3%～10%，有机单体与交联剂的质量比为5:1～20:1，分散剂的加入量为AlN陶瓷粉体重量的0.5%～2%。

3.如权利要求1所述的凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法，其特征是，步骤（2）中，所述增塑剂为甘油、聚乙二醇、邻苯二甲酸酯、聚醚多元醇、油酸或它们的混合物；对于厚度小于等于1.5mm的氮化铝生坯基片，增塑剂的加入量为AlN陶瓷粉末重量的0.2%～5%；对于厚度大于1.5mm的氮化铝生坯基片，需适当增加增塑剂，以保证氮化铝坯体的柔韧性，增塑剂的加入量为AlN陶瓷粉末重量的1%～10%。

4.如权利要求1所述的凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法，其特征是，步骤（3）中，所述引发剂为偶氮二异丁基脒二盐酸盐、四乙基五胺或3,3’-二氨基二丙胺，引发剂的加入量为有机单体质量的0.25%～10%。

5.如权利要求1所述的凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法，其特征是，步骤（4）中，对于厚度小于等于1.5mm的氮化铝生坯基片，流延带速度为2m/min～5m/min，流延带加热区间温度为40～50℃，固化时间为10min～40min；对于厚度大于1.5mm的氮化铝生坯基片，流延带速度为0.2m/min～4m/min，流延带加热区间温度为45～60℃，固化时间为30min～1h。

6.如权利要求1所述的凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法，其特征是，步骤（5）中，对于厚度小于等于1.5mm的氮化铝生坯基片，干燥温度为30～45℃，时间为30min～2h；对于厚度大于1.5mm的氮化铝生坯基片，干燥温度为40～60℃，时间为2h～4h。

7.如权利要求1所述的凝胶流延制备氮化铝陶瓷基片的方法，其特征是，步骤（1）中，所述有机溶剂为乙醇、丙醇或异丙醇。