[发明专利]基于两级调控的静电驱动大变形微机械驱动器

权利要求书

1.基于两级调控的静电驱动大变形微机械驱动器，其特征在于，包括：

一微梁(1)，所述微梁(1)两侧向外延伸形成动齿电极(5)；

固定基座(2)，所述固定基座(2)两端设有定齿电极(6)，所述定齿电极(6)与所述动齿电极(5)相交错组成调节电极；

两放大机构，所述放大机构分别位于所述微梁(1)两侧，该放大机构包括与微梁(1)直接相接的调节梁(7)和在固定基座(2)两端设置的定位导向槽(3)，定位导向槽(3)与调节梁(7)之间设有楔形块(4)，定位导向槽(3)用于限制楔形块(4)仅在上下方向运动。

2.如权利要求1所述的静电驱动大变形微机械驱动器，其特征在于：所述楔形块(4)有一定的楔形角，可以实现楔形块(4)在上下方向运动时，调节梁(7)与定位导向槽(3)间距离变化，从而实现微梁(1)压缩量的改变。

3.如权利要求1所述的静电驱动大变形微机械驱动器，其特征在于：所述楔形块(4)能够在定位导向槽(3)内运动，当所述楔形块(4)在定位导向槽(3)内上下运动时，所述楔形块(4)会挤压与之相连的调节梁(7)，所述调节梁(7会挤压所述微梁(1)，以改变微梁(1)长度。当所述楔形块(4)向下运动时，所述楔形块(4)向内挤压调节梁，微梁(1)沿轴方向压缩，从而实现微驱动器轴向力粗调；通过在调节电极上施加不同的调节电压，微梁(1)所受轴向力发生变化，从而实现微驱动器轴向力的精密调节。

4.如权利要求1所述的静电驱动大变形微机械驱动器，其特征在于：所述固定基座(2)设有定极板(8)，所述微梁(1)上端设有动极板(9)，所述微梁与所述定极板共同组成驱动电极，所述驱动电极与外部驱动电路相连。

5.如权利要求1所述的静电驱动大变形微机械驱动器，其特征在于：所述微梁与固定基座之间有一定间隙，以提供微梁的振动空间。

6.如权利要求1所述的静电驱动大变形微机械驱动器，其特征在于：所述固定基座(2)、微梁(1)、调节电极和放大机构均由硅材料制成。

7.如权利要求1所述的静电驱动大变形微机械驱动器，其特征在于：所述动齿电极(5)、定齿电极(6)、微梁(1)和固定基座(2)下端表面均沉积有金膜层。