[发明专利]带温度补偿的MEMS加速度计有效
| 申请号： | 201310585144.3 | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN103558415A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 王晓臣;鞠莉娜;张斌;王甫;高玉霞 | 申请（专利权）人： | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 |
| 主分类号： | G01P15/00 | 分类号： | G01P15/00;G01P1/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;项丽 |
| 地址： | 215163 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 温度 补偿 mems 加速度计 | ||
1.一种带温度补偿的MEMS加速度计，包括MEMS加速度传感器，其特征在于：其还包括温度传感器、温度补偿芯片，所述的MEMS加速度传感器的输出端和所述的温度传感器的输出端分别经A/D通道与所述的温度补偿芯片的输入端相连接，所述的温度补偿芯片的输出端为所述的带温度补偿的MEMS加速度计的输出端；
所述的温度补偿芯片采用的温度补偿方法为：（1）通过高低温循环在多个温度点下测量所述的MEMS加速度传感器的零偏和标度因子的输出值而取得一组数据，将该组数据拟合获得其拟合曲面，通过所述的拟合曲面获得满足拟合阶次所需的一系列拟合系数，并将所述的一系列拟合系数排列成系数矩阵；（2）将所述的MEMS加速度传感器的输出信号NR和所述的温度传感器的输出信号T建模成并表达为模型矩阵，其中n为拟合阶次；（3）将所述的系数矩阵和所述的模型矩阵做点乘得到全温度范围内所述的MEMS加速度传感器在温度补偿后的输出公式；（4）将所述的一系列拟合系数和全温度范围内所述的MEMS加速度传感器在温度补偿后的输出公式写入所述的温度补偿芯片中，将所述的MEMS加速度传感器的输出信号NR和所述的温度传感器的输出信号T经公式计算后得到所述的带温度补偿的MEMS加速度计输出的加速度值。
2.根据权利要求1所述的带温度补偿的MEMS加速度计，其特征在于：通过最小二乘法拟合所述的一组数据得到其拟合曲面。
3.根据权利要求1所述的带温度补偿的MEMS加速度计，其特征在于：所述的拟合阶次为5阶。
4.根据权利要求3所述的带温度补偿的MEMS加速度计，其特征在于：所述的一系列拟合系数为21个，分别为C0-C20，其排列而成的系数矩阵为
所述的模型矩阵为
所述的全温度范围内所述的MEMS加速度传感器在温度补偿后的输出公式为
5.根据权利要求1所述的带温度补偿的MEMS加速度计，其特征在于：所述的MEMS加速度传感器、所述的温度传感器处于同一热量场内。
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