[发明专利]再生干式除害媒介体的方法无效
| 申请号： | 201310585229.1 | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN103638914A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 王陆平;许从应;李英辉;马潇;朱颜;王仕华;王智 | 申请（专利权）人： | 苏州丹百利电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01J20/34 | 分类号： | B01J20/34;B01D53/81;B01D53/46 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王玉国;陈忠辉 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 再生 除害 媒介 方法 | ||
【权利要求书】：
1.再生干式除害媒介体的方法，其特征在于：金属氧化物媒介体与有害气体砷烷和磷烷反应，即：
AsH3 +MO → M3As + As + H2O
PH3 + MO → M3P2 + H2O
M为金属；
反应完毕后，用空气或含氧混合气将丧失活性的中间体M3As和M3P2氧化成金属氧化物，即：
MAs +As + O2 → M3[AsO4]2 +As2O3 + MO
MP +P + O2 → M[PO4] + P2O5 + MO
M为金属；
使其恢复部分活性，继续用于砷烷和磷烷的去除。
2.根据权利要求1所述的再生干式除害媒介体的方法，其特征在于：所述M为金属Cu、Mn、Ag、Co或Mg。
3.根据权利要求1所述的再生干式除害媒介体的方法，其特征在于：所述金属氧化物媒介体为对砷烷和磷烷以及氢化物有反应活性的物质。
4.根据权利要求1所述的再生干式除害媒介体的方法，其特征在于：所述空气或含氧混合气的流速为10mL/min ～500L/min。
5.根据权利要求1所述的再生干式除害媒介体的方法，其特征在于：所述空气或含氧混合气活化温度为25℃～300℃。
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