[发明专利]用于检测空心圆柱内表面的光学干涉仪在审
| 申请号： | 201310585701.1 | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN103615972A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 韩森;李雪园 | 申请（专利权）人： | 苏州慧利仪器有限责任公司;韩森;李雪园 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 马明渡;王健 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 检测 空心 圆柱 表面 光学 干涉仪 | ||
1.一种用于检测空心圆柱内表面的光学干涉仪，所述内表面（1）沿空心圆柱（2）周向且位于内侧，其特征在于：包括激光器（3）、聚光凸透镜（4）、分束镜（5）、作为物镜的准直凸透镜（6）、标准平晶（7）和圆锥反射镜（8），所述聚光凸透镜（4）位于激光器（3）和准直凸透镜（6）之间且聚光凸透镜（4）的焦点与准直凸透镜（6）的焦点重合；所述分束镜（5）位于聚光凸透镜（4）和准直凸透镜（6）之间，用于将来自准直凸透镜（6）的光线分为第一光束和第二光束；所述标准平晶（7）位于准直凸透镜（6）与分束镜（5）相背的一侧，该标准平晶（7）与准直凸透镜（6）相背的表面为标准平面（71）；
所述圆锥反射镜（8）位于待检测所述空心圆柱（2）内，且圆锥反射镜（8）的旋转轴与空心圆柱（2）与标准平晶（7）各自的轴线重合，所述圆锥反射镜（8）的圆锥面（81）与所述空心圆柱（2）的内表面（1）面对面放置，此圆锥反射镜（8）沿轴线移动从而实现对空心圆柱（2）的内表面（1）扫描；
干涉图样接收部件（9）位于所述分束镜（5）一侧，用于接收来自分束镜（5）的第二光束。
2.根据权利要求1所述的光学干涉仪，其特征在于：当空心圆柱（2）的内表面（1）与空心圆柱（2）轴线平行时，所述圆锥反射镜（8）的圆锥面（81）与圆锥反射镜（8）的轴线夹角为45°；当空心圆柱（2）的内表面（1）与空心圆柱（2）轴线的夹角θ为钝角时，所述圆锥反射镜（8）的锥角为钝角；当空心圆柱（2）的内表面（1）与空心圆柱（2）轴线的夹角θ为锐角时，所述圆锥反射镜（8）的锥角为锐角。
3.根据权利要求1或2所述的光学干涉仪，其特征在于：所述聚光凸透镜（4）与准直凸透镜（6）的焦点重合处设有一第一小孔光阑（10）。
4.根据权利要求1或2所述的光学干涉仪，其特征在于：所述分束镜（5）与干涉图样接收部件（9）之间设有一第二小孔光阑（11）。
5.根据权利要求1或2所述的光学干涉仪，其特征在于：所述干涉图样接收部件（9）为CCD相机或者其他成像接收器件。
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