[发明专利]一种红外探测器芯片的清洗方法

权利要求书

1.一种红外探测器芯片清洗方法，其特征在于包括以下工艺步骤：

1）将探测器芯片放入去蜡剂中浸泡，探测器芯片为线列芯片时芯片浸泡10分钟，探测器芯片为面阵芯片时芯片浸泡20分钟；

2）将芯片从去蜡剂中取出，放入三氯乙烯中浸泡5分钟，溶解芯片表面的残留的去蜡液；

3）将芯片放入乙醚中浸泡3分钟，去除芯片表面的三氯乙烯，此外下一步用丙酮去除光刻胶时，三氯乙烯与丙酮容易形成悬浮物，影响芯片的清洗；

4）将乙醚浸泡过的芯片放入丙酮中，溶解光刻胶，浸泡时间为10分钟；

5）去除光刻胶后的芯片放入酒精中浸泡5分钟，溶解芯片表面残留的丙酮溶液，最后将芯片取出吹干，镜检使用。