[发明专利]高温二次电子探测器收集组件及高温扫描电镜

权利要求书

1.一种高温二次电子探测器收集组件，包括标准二次电子探测器收集组件，其特征在于：还包括套设在所述标准二次电子探测器收集组件外的隔光套（10），所述隔光套（10）的材质能够阻挡可见光和红外光，且所述隔光套（10）的一端为适合与光导管接头连接的接口端（11），所述隔光套（10）的另一端为电子进入端（12）。

2.根据权利要求1所述的高温二次电子探测器收集组件，其特征在于：所述隔光套（10）的所述电子进入端（12）处还设置有用于吸收二次电子的吸收结构。

3.根据权利要求2所述的高温二次电子探测器收集组件，其特征在于：所述吸收结构为栅网（13），所述栅网（13）采用铜线制成，所述铜线的直径为0.1mm。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的高温二次电子探测器收集组件，其特征在于：所述隔光套（10）为铝套。

5.根据权利要求2或3所述的高温二次电子探测器收集组件，其特征在于：所述隔光套（10）呈锥形，所述吸收结构设置在所述隔光套（10）的小端，所述接口端（11）设置在所述隔光套（10）的大端。

6.一种具有如权利要求1-5中任一项所述的高温二次电子探测器收集组件的高温扫描电镜，其特征在于：还包括能对物镜下极靴进行隔热的物镜保护组件（2），所述物镜保护组件（2）中心成型有适合电子束穿过的通孔（21），所述物镜保护组件（2）上成型有由侧壁向中心凹陷的凹口（22），所述高温二次电子探测器收集组件（1）与所述物镜保护组件（2）二者的轴线相互垂直时，所述高温二次电子探测器收集组件（1）的所述电子进入端（12）可无触碰地穿过所述凹口（22），所述物镜保护组件（2）上还成型有与所述物镜下极靴上的适合光阑杆插入的光阑杆缺口相吻合的缺口（27）。

7.根据权利要求6所述的高温扫描电镜，其特征在于：所述通孔（21）的直径为3mm。

8.根据权利要求6或7所述的高温扫描电镜，其特征在于：所述物镜保护组件（2）包括多个隔热片（23），相邻两个所述隔热片（23）之间留有间隙，且所述间隙中垫有隔环（24），所述隔热片（23）和所述隔环（24）采用螺栓（25）连接在一起。

9.根据权利要求8所述的高温扫描电镜，其特征在于：所述隔热片（23）采用钽制成，所述隔热片（23）的厚度为0.3mm，且所述隔热片（23）设为三个。

10.根据权利要求9所述的高温扫描电镜，其特征在于：相邻两个所述隔热片（23）之间的所述间隙设为1.5mm。

11.根据权利要求6-10中任一项所述的高温扫描电镜，其特征在于：所述物镜保护组件（2）的一端端面上还设置有适于与所述物镜下极靴套接的卡环（26），所述卡环（26）上成型有所述缺口（27）。

12.根据权利要求6-11中任一项所述的高温扫描电镜，其特征在于：所述高温二次电子探测器收集组件（1）的所述电子进入端（12）不朝向盛放样品的样品杯的敞口端设置。