[发明专利]具有多个扫描架的干涉仪

权利要求书

1.一种干涉仪，其包括：

固定组件，所述固定组件包括基座、配置成将从光源发射的光分裂成光的第一和第二部分的分束器组件、以及用于反射所述光的第一部分的固定反射镜；

相对于所述固定组件可移动的可移动组件，所述可移动组件包括上扫描架、下扫描架以及连接到所述下扫描架的用于反射所述光的第二部分的可移动反射镜，其中所述分束器组件还配置成将被反射的光的第一和第二部分组合成重组辐射束；

一对内挠曲支承件，所述一对内挠曲支承件具有连接到所述基座的端部和连接到所述上扫描架的端部，允许所述上扫描架相对于所述基座的运动；以及

一对外挠曲支承件，所述一对外挠曲支承件具有连接到所述上扫描架的端部和连接到所述下扫描架的端部，允许所述下扫描架相对于所述上扫描架的运动，

其中所述上扫描架的运动和所述下扫描架的运动允许所述可移动反射镜在扫描方向上的扫描运动，所述扫描运动被限制成使得在所述扫描运动期间，所述扫描运动保持包含所述可移动反射镜的平面，平行于在所述可移动组件和所述固定组件之间的相应距离处的包含所述可移动反射镜的多个平面，并且

其中所述分束器组件、所述固定反射镜和所述可移动反射镜定位在包含处于相应平坦状态时的所述一对内挠曲支承件的各平面之间的空间内。

2.根据权利要求1所述的干涉仪，其中在所述上扫描架的运动期间所述上扫描架的上平面中的上点限定上弧，并且在所述下扫描架的运动期间所述下扫描架的下平面中的下点限定与所述上弧相等并且相反的下弧，其中所述上点和所述下点几何共轭。

3.根据权利要求1所述的干涉仪，其中所述上扫描架包含前平面，所述前平面大致平行于处于非挠曲位置的所述一对内挠曲支承件的平面，在扫描运动期间所述上扫描架的前平面保持平行于所述基座的前平面。

4.根据权利要求3所述的干涉仪，其中所述下扫描架包含前平面，所述前平面大致平行于处于非挠曲位置的所述一对外挠曲支承件的平面，在扫描运动期间所述下扫描架的前平面保持平行于所述上扫描架的前平面。

5.根据权利要求1所述的干涉仪，其中所述光的第一部分是透射部分，并且所述光的第二部分是反射部分。

6.根据权利要求1所述的干涉仪，其中所述可移动组件还包括用于允许所述可移动反射镜的扫描运动的电机线圈组件。

7.根据权利要求6所述的干涉仪，其中所述一对内挠曲支承件的第一内挠曲支承件和所述一对外挠曲支承件的第一外挠曲支承件的每一个限定第一开口，用于为所述可移动反射镜和所述电机线圈组件中的至少一个提供间隙。

8.根据权利要求7所述的干涉仪，其中所述一对内挠曲支承件的第二内挠曲支承件所述一对外挠曲支承件的第二外挠曲支承件限定第二开口，用于提供来自所述分束器组件的重组辐射束的无障碍光路。

9.根据权利要求8所述的干涉仪，其中当所述可移动组件相对于所述固定组件平移时，所述可移动反射镜的表面不角偏转。

10.根据权利要求1所述的干涉仪，其中所述分束器组件包括多个可选择分束器。

11.根据权利要求10所述的干涉仪，其中所述多个可选择分束器包括不同材料，以相应地透射从光源发射的不同频率的感兴趣的光。

12.根据权利要求10所述的干涉仪，其中所述分束器组件还包括包含所述多个可选择分束器的分束器架，所述分束器架可滑动地安装到所述固定组件，以允许通过将所述多个可选择分束器中的一个滑动到从光源发射的光的路径中而选择所述多个可选择分束器中的一个。