[发明专利]一种电弧等离子体发生器及提高该发生器运行稳定性安全性的方法在审
申请号: | 201310594765.8 | 申请日: | 2013-11-22 |
公开(公告)号: | CN103648229A | 公开(公告)日: | 2014-03-19 |
发明(设计)人: | 潘文霞;吴承康;孟显 | 申请(专利权)人: | 中国科学院力学研究所 |
主分类号: | H05H1/34 | 分类号: | H05H1/34 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电弧 等离子体 发生器 提高 运行 稳定性 安全性 方法 | ||
1.一种提高叠片式或分段式电弧等离子体发生器运行稳定性安全性的方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)清洁叠片式或分段式电弧等离子体发生器的中间插入段内壁;
2)采用离子镀、磁控对靶溅射等方法在中间插入段内壁镀绝缘膜;
3)通过测量所镀绝缘膜的电阻、显微镜观测等方法,确保内壁均匀镀膜,确认所镀膜层的绝缘性能;
4)组装叠片式或分段式电弧等离子体发生器;
5)叠片式或分段式电弧等离子体发生器连接电源、气路及水路,引弧试验叠片式或分段式电弧等离子体发生器的性能。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述镀膜的材料为耐高温绝缘材料,例如氧化锆、氧化铝、氧化钛等氧化物。
3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述镀膜的厚度为小于200微米。
4.一种电弧等离子体发生器,其特征在于,包括:阴极、阳极、中间插入段、绝缘套、绝缘件及连接辅件;在所述绝缘套的位于所述阴极和阳极之间嵌设有若干个间隔预定间距的中间插入段,在所述中间插入段的内壁镀有一层绝缘膜。
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