[发明专利]一种掩模组件的组装方法在审
申请号: | 201310595549.5 | 申请日: | 2013-11-25 |
公开(公告)号: | CN103695840A | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;魏志浩;赵录军;张炜平 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 模组 组装 方法 | ||
1.一种掩模组件的组装方法,包括:
S1、外力施加步骤:对掩模框的一组对边施加预定的外力,所述被施加预定外力的所述一组对边构成所述掩模框的固定边;
S2、张力施加步骤:使用一对张力装置分别夹持掩模单元两端的夹持部,所述张力装置在所述掩模单元的长度方向对所述掩模单元施加张力,使所述掩模单元具有一定的张力;
S3、对位安装步骤:将具有一定张力的所述掩模单元通过对位步骤与所述掩模框对位,所述掩模单元与所述掩模框准确对位后将所述掩模单元的两端分别固定于所述固定边;
S4、外力撤销步骤:完成所述对位安装步骤,所施加的所述预定的外力撤销一部分;
其特征在于,通过一次或多次进行所述张力施加步骤、所述对位安装步骤及所述外力撤销步骤,将一个或多个所述掩模单元安装于一个所述掩模框,安装完所有的所述掩模单元之后,所述外力全部撤销,即获得掩模组件。
2.根据权利要求1所述的掩模组件的组装方法,其特征在于,当所述掩模组件只包括一个掩模单元时,所述步骤S4中所述外力撤销一部分为将所述外力全部撤销。
3.根据权利要求1所述的掩模组件的组装方法,其特征在于,所述掩模单元从所述固定边的中心位置向两端位置依次安装于所述掩模框。
4.根据权利要求1所述的掩模组件的组装方法,其特征在于,所述对位安装步骤中,所述掩模单元的两端通过激光焊接方式分别固定于所述掩模框的两所述固定边。
5.根据权利要求1所述的掩模组件的组装方法,其特征在于,将所有的所述掩模单元安装于所述掩模框之后还包括去除所述夹持部的步骤。
6.根据权利要求1所述的掩模组件的组装方法,其特征在于,在每次所述外力撤销步骤之前或之后还包括去除所述夹持部的步骤。
7.根据权利要求1所述的掩模组件的组装方法,其特征在于,所述掩模单元两端的所述夹持部与所述掩模单元为一体成型结构,或者所述夹持部通过半刻区与所述掩模单元连接。
8.根据权利要求5或6或7所述的掩模组件的组装方法,其特征在于,所述去除所述夹持部的步骤通过激光切割方式或者通过沿所述半刻区撕除的方式。
9.根据权利要求1所述的掩模组件的组装方法,其特征在于, 所述掩模单元设有一个或多个掩模图案区域,所述掩模图案区域为一个大的蒸镀孔或者由多个小的蒸镀孔排列而成。
10.根据权利要求1所述的掩模组件的组装方法,其特征在于,所述掩模单元的材质为镍或镍基合金或因瓦合金。
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