[发明专利]一种硫化亚铜薄膜的液相制备方法

权利要求书

1.一种硫化亚铜薄膜的液相制备方法，其特征在于，包括：

将铜源溶于含有络合剂和含硫小分子试剂的醇溶液中，加入一定的粘度调节剂，形成澄清透明且稳定的前驱体溶液；

将所述前驱体溶液通过非真空薄膜沉积工艺在衬底上沉积为前驱体薄膜并加热烘干；以及

将所述前驱体薄膜在硫族元素气氛下于300～650℃退火20～200分钟形成硫化亚铜薄膜。

2.根据权利要求1所述的硫化亚铜薄膜的液相制备方法，其特征在于，在所述前驱体溶液中，Cu的浓度为0.05～1mol/L。

3.根据权利要求1或2所述的硫化亚铜薄膜的液相制备方法，其特征在于，在所述前驱体溶液中，Cu、S、络合剂的摩尔比为1：（3～50）：（2～20）。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的硫化亚铜薄膜的液相制备方法，其特征在于，在所述前驱体溶液中，所述粘度调节剂的浓度为0～0.05g/mL。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的硫化亚铜薄膜的液相制备方法，其特征在于，所述铜源为氧化铜、氧化亚铜、氢氧化铜、和乙酰丙酮铜中的至少一种。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的硫化亚铜薄膜的液相制备方法，其特征在于，所述络合剂为乙二胺、丁胺、己胺、乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氨水、氨气、异丙醇胺、三乙胺中的至少一种。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的硫化亚铜薄膜的液相制备方法，其特征在于，所述含硫小分子试剂为硫代乙酸、巯基乙酸、巯基丙酸、二硫化碳中的至少一种。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的硫化亚铜薄膜的液相制备方法，其特征在于，所述醇为甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、和正丁醇中的至少一种。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的硫化亚铜薄膜的液相制备方法，其特征在于，所述粘度调节剂为乙二醇、丙二醇、丙三醇、聚乙烯吡咯烷酮、乙基纤维素、松节油透醇、曲拉通 X-100、聚乙二醇-200、聚乙二醇-300、聚乙二醇-400、聚乙二醇-600中的至少一种。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的硫化亚铜薄膜的液相制备方法，其特征在于，所述非真空薄膜沉积工艺为旋涂法、提拉法、丝网印刷法、喷雾热解法或手术刀法。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的硫化亚铜薄膜的液相制备方法，其特征在于，所述加热烘干的温度为150～400℃。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的硫化亚铜薄膜的液相制备方法，其特征在于，所述硫族元素气氛包括硫单质和/或硫化氢。