[发明专利]干涉物镜驱动装置

权利要求书

1.一种干涉物镜驱动装置，其特征在于，所述干涉物镜驱动装置包括：

本体，所述本体上形成有贯通的腔室，所述腔室的一侧一体形成双平行板四杆机构，所述双平行板四杆机构由柔性铰链形成；

安装架和固定架，所述安装架设置于所述双平行板四杆机构上，且与所述双平行板四杆机构一体成型，所述固定架与所述安装架相对地设置于所述本体的另一端；

压电陶瓷、预紧顶丝、滚珠，所述压电陶瓷、滚珠位于所述腔室中，所述预紧顶丝与所述本体相螺接，且与所述双平行板四杆机构相对设置，所述滚珠与所述预紧顶丝相配合，且与压电陶瓷相抵靠，所述压电陶瓷与所述滚珠相对的一端与所述双平行板四杆机构相抵靠。

2.根据权利要求1所述的干涉物镜驱动装置，其特征在于，所述滚珠部分镶嵌于所述预紧顶丝中。

3.根据权利要求1所述的干涉物镜驱动装置，其特征在于，所述预紧顶丝包括第一顶丝和第二顶丝，所述第一顶丝和第二顶丝通过方向相反的螺纹与所述本体相螺接。

4.根据权利要求1所述的干涉物镜驱动装置，其特征在于，所述滚珠和压电陶瓷之间还设置有钨钢片，所述钨钢片与所述压电陶瓷的一端进行固定连接，所述滚珠抵靠于所述钨钢片上。

5.根据权利要求1所述的干涉物镜驱动装置，其特征在于，所述柔性铰链最大形变量时的恢复力小于与其相互作用的压电陶瓷的最大驱动力。

6.根据权利要求5所述的干涉物镜驱动装置，其特征在于，所述柔性铰链的材质为超硬铝。

7.根据权利要求1所述的干涉物镜驱动装置，其特征在于，所述贯通的腔室具有相对设置的开口，所述相对设置的开口分别由上盖板和下盖板进行封闭。

8.根据权利要求1所述的干涉物镜驱动装置，其特征在于，所述安装架上形成有安装干涉物镜的螺纹。

9.一种干涉物镜驱动装置，其特征在于，所述干涉物镜驱动装置包括：

本体，所述本体上形成有贯通的腔室，所述腔室的一侧一体形成对称四杆机构，所述双对称四杆机构由柔性铰链形成；

安装架和固定架，所述安装架设置于所述对称四杆机构上，且与所述对称四杆机构一体成型，所述固定架与所述安装架相对地设置于所述本体的另一端；

压电陶瓷、预紧顶丝、滚珠，所述压电陶瓷、滚珠位于所述腔室中，所述预紧顶丝与所述本体相螺接，且与所述对称四杆机构相对设置，所述滚珠位于所述压电陶瓷和预紧顶丝之间，并与二者相抵靠，所述压电陶瓷与所述滚珠相对的一端与所述对称四杆机构相抵靠。